Патенты автора ЭРКЕНС, Георг (DE)
СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СИСТЕМЫ СЛОЕВ НА ПОДЛОЖКУ И ПОДЛОЖКА С СИСТЕМОЙ СЛОЕВ // 2630090
Изобретение относится к многослойному покрытию, сформированному на подложке из слоев твердых материалов, и к способу его формирования. В вакуумируемой рабочей камере (2), имеющей катодно-дуговой источник-испаритель (Q1) с испаряемым материалом (M1) и источник (Q2) магнетронного разряда с высвобождаемым при магнетронном разряде материалом (М2), работающий в режиме высокоионизированного импульсного магнетронного распыления (HIPIMS), на поверхности подложки (1) формируют по меньшей мере один контактный слой (S1), содержащий испаряемый материал (Ml), посредством вакуумного катодно-дугового испарения. На упомянутом контактном слое (S1) формируют по меньшей мере один промежуточный слой (S2) в виде наноструктурированного смешанного слоя или в виде слоя нанокомпозита, содержащего испаряемый материал (M1) и высвобождаемый при разряде материал (М2), с помощью одновременного реактивного осаждения материалов посредством вакуумного катодно-дугового источника-испарителя (Q1) и источника (Q2) магнетронного разряда. Затем формируют по меньшей мере один верхний слой (S3), содержащий материал (М2), посредством источника (Q2) магнетронного разряда, работающего в режиме HIPIMS. Обеспечивается формирование многослойного покрытия, которое сочетает в себе преимущества обоих способов нанесения покрытий, а именно – вакуумного катодно-дугового испарения и процесса магнетронного разряда в режиме HIPIMS, и имеет меньшую шероховатость, чем многослойное покрытие принципиально того же химического состава, которое изготовлено известными из уровня техники способами. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.
