Патенты автора Мишин Святослав Валерьевич (RU)
ЛАЗЕРНЫЙ АВТОКОЛЛИМАЦИОННЫЙ МИКРОСКОП // 2630196
Микроскоп может быть использован при юстировке оптических систем, а также для контроля погрешностей центрирования линз. Микроскоп содержит два измерительных канала. Первый канал содержит размещенные по ходу луча источник излучения с длиной волны λ1, первый коллимирующий объектив, первый светоделитель, в отраженных лучах которого расположены первый спектроделитель и фокусирующий объектив, в предметной плоскости которого расположена контролируемая поверхность. В преломленных лучах первого светоделителя в обратном ходе от контролируемой поверхности расположен первый объектив и первый многоэлементный приемник излучения. Второй канал состоит из источника излучения с длиной волны λ2 и размещенных по ходу луча второго коллимирующего объектива, второго спектроделителя, в отраженных лучах которого расположен второй светоделитель, а в преломленных лучах в обратном ходе от контролируемой поверхности расположен второй объектив и второй многоэлементный приемник излучения. В отраженных лучах второго светоделителя расположен первый спектроделитель. Технический результат - возможность высокоточных угловых и линейных измерений на одном приборе и минимизация габаритов. 22 з.п. ф-лы, 9 ил.
