Патенты автора Храмов Валерий Юрьевич (RU)
Дифракционный способ измерения линейного размера объекта включает в себя получение дифракционной картины от объекта, её сканирование, преобразование распределения интенсивности в электрический сигнал. Поставленная задача решается на этапе выделения измерительной информации, за счет использования точек перегиба в осциллирующем сигнале, возникающем при регистрации дифракционной картины, положение которых постоянно к изменению неравномерности распределения амплитуды облучающего поля в плоскости измеряемого объекта. Технический результат заключается в уменьшение влияния на результат измерения размера объекта неравномерности распределения амплитуды облучающего поля в плоскости измеряемого объекта. 2 ил.
