Патенты автора Вторушин Сергей Евгеньевич (RU)
ДВУХОСЕВОЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР // 2693030
Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к приборам для измерения линейного ускорения. Акселерометр содержит подложку из диэлектрического материала, анкерные блоки, неподвижно закрепленные на подложке, инерционную массу, Ω-образные упругие элементы, образующие подвес для осуществления развязки в двух ортогональных направлениях, наружную раму, внутри которой на Ω-образных упругих элементах подвеса закреплена промежуточная рамка, имеющая упругую связь с инерционной массой. Наружная рамка и инерционная масса снабжены гребенчатыми электродами, неподвижные части которых связаны с подложкой, подвижные электроды образуют единое целое с наружной рамкой и инерционной массой. Технический результат – повышение быстродействия и точности измерения ускорения, расширение арсенала технических средств, позволяющих измерять ускорение объекта в двух взаимно перпендикулярных направлениях. 1 ил.
ИНТЕГРАЛЬНЫЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ГИРОСКОП // 2630542
Изобретение относится к гироскопическим приборам, а именно к датчикам угловой скорости, основанным на Кориолисовых силах, и может быть использовано для измерения угловой скорости. Интегральный микромеханический гироскоп, выполненный из полупроводникового материала, содержит рамку, закрепленную на диэлектрическом основании в неподвижных анкерах через упругие перемычки (4). На рамке выполнены гребенчатые структуры вибропривода. Первое промежуточное тело (7) закреплено на упругих перемычках (9) внутри рамки. Первое инерционное тело (11) расположено на упругих перемычках (12) внутри первого промежуточного тела (7) и связано с неподвижными анкерами (13) через упругие перемычки (14). На первом инерционном теле (1) выполнены подвижные части сенсорных электродов (15), неподвижные части которых закреплены на диэлектрическом основании. Анкеры, неподвижные части вибропривода, неподвижные части сенсорных электродов зафиксированы на диэлектрическом основании. Внутри рамки дополнительно расположено второе промежуточное тело (8), которое связано с рамкой через упругие перемычки (10). Второе инерционное тело (16) расположено внутри второго промежуточного тела (8) и связано с ним через упругие перемычки (17), а также связано с неподвижными анкерами (18) через упругие перемычки (19). Под вторым инерционным телом (16) расположен неподвижный планарный электрод, закрепленный на диэлектрическом основании. Данное изобретение позволяет проводить измерения двух составляющих угловой скорости. 1 ил.
