Патенты автора СОИНИНЕН, Пекка Й. (FI)
Устройство и способ для реакторов осаждения // 2630731
Изобретение относится к устройству и способу химического осаждения материала последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями. Упомянутое устройство содержит источник исходного продукта, выполненный с возможностью осаждения материала на нагретую подложку в реакторе осаждения последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями, и пульсирующий клапан, внедренный в источник исходного продукта и выполненный с возможностью управления подачей пара исходного продукта из источника исходного продукта в содержащуюся в реакторе реакционную камеру, в которой размещена подложка. Устройство выполнено с возможностью пропускания нереакционного газа через пульсирующий клапан или через впускной клапан источника нереакционноспособного газа к картриджу источника исходного продукта с возможностью поднятия давления и облегчения последующего протекания смеси пара исходного продукта и нереакционноспособного газа к реакционной камере. Упомянутый способ осуществляют с использованием указанного устройства. Обеспечивается предотвращение конденсации пара исходного продукта в источнике исходного продукта. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 22 ил., 3 пр.,
Устройство и способы для реакторов осаждения // 2630727
Изобретение относится к источнику исходного продукта для реактора химического осаждения материала последовательными самонасыщающимися поверхностными реакциями и к картриджу исходного продукта для источника исходного продукта. Упомянутый источник содержит присоединяемый картридж исходного продукта, выполненный с возможностью отсоединения, первую соединительную часть, выполненную с возможностью присоединения картриджа исходного продукта к источнику исходного продукта и отсоединения от него, и вторую соединительную часть для присоединения источника исходного продукта к устройству реактора осаждения и отсоединения от него. Картридж исходного продукта для вышеуказанного источника исходного продукта, присоединяемый с возможностью отсоединения, содержит камеру исходного продукта, резервуар исходного продукта для вмещения исходного продукта, соединительную часть для загрузки и разгрузки резервуара исходного продукта и клапан для изоляции газового пространства указанной камеры от выходного трубопровода источника исходного продукта. Указанная камера имеет соединительную часть с горловиной, обеспечивающую разборку картриджа исходного продукта для очистки. Резервуар исходного продукта имеет фильтр, расположенный сверху указанного резервуара, предотвращающий выход из резервуара твердого исходного продукта или порошковых частиц. Обеспечивается предотвращение конденсации пара исходного продукта в упомянутом источнике, предотвращение формирования пленки на твердой поверхности исходного продукта. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 22 ил., 3 пр.
