Патенты автора ВЯХЯМЯКИ, Харри (FI)
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАЩИТЫ ВНУТРЕННИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ НАСОСА ПОСРЕДСТВОМ АТОМНО-СЛОЕВОГО ПОКРЫТИЯ // 2630733
Изобретение относится к способу защиты внутренних поверхностей насоса путем атомно-слоевого осаждения (АСО) покрытия и к устройству для защиты внутренних поверхностей насоса путем атомно-слоевого осаждения (АСО) покрытия. Осуществляют подведение к входу защищаемого насоса впускного манифольда, состоящего из одной или более подающих линий, снабженных собственными управляющими компонентами, которые контролируются компьютерной управляющей системой, а к выходу защищаемого насоса - вытяжной линии посредством подсоединения впускного манифольда к входу защищаемого насоса, и подсоединения вытяжной линии к выходу защищаемого насоса, проводят воздействие на внутренние поверхности защищаемого насоса следующих друг за другом самоограниченных поверхностных реакций путем последовательной подачи во внутренний объем защищаемого насоса через впускной манифольд реакционных газов и продувочного газа с воздействием на внутренние поверхности защищаемого насоса реакционных газов и вывода через вытяжную линию остаточных продуктов реакций и продувочного газа и осуществляют отсоединение впускного манифольда от входа защищаемого насоса и отсоединение вытяжной линии от выхода защищаемого насоса. АСО проводят при функционирующем насосе или при нефункционирующем насосе. Упомянутое устройство обеспечивает осуществление указанного способа и содержит впускной манифольд, состоящий из линий подачи парообразных прекурсоров и продувочного газа, снабженных собственными управляющими компонентами, и сконструированный с возможностью подсоединения к входу защищаемого насоса, причем через впускной манифольд подают реакционные газы и продувочный газ, вытяжную линию, сконструированную с возможностью подсоединения к выходу защищаемого насоса, причем через вытяжную линию выводят остаточные продукты реакций и продувочный газ, и управляющую систему, регулирующую подачу реакционных газов во внутренний объем защищаемого насоса и их вывод через вытяжную линию. Обеспечивается защита внутренних поверхностей насоса посредством эффективного защитного покрытия. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 2 ил.
