Патенты автора Зиновьев Вадим Борисович (RU)
ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ // 2631016
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления жидкости и газов. Тензопреобразователь давления содержит квадратную плоскую диафрагму из монокристаллического кремния с опорной рамкой и четыре продольных тензорезистора. Тензорезисторы расположены на планарной поверхности диафрагмы, содержащей 12 одинаковых квадратных углублений со стороной не менее длины тензорезистора и глубиной не больше половины толщины диафрагмы. Четыре углубления расположены в центре, а восемь остальных - парами у краев диафрагмы симметрично ее срединным осям. Зазор между углублениями одинаков и равен ширине тензорезисторов, которые расположены между углублениями, два - в центре, а два - у краев диафрагмы, образуя мостовую схему. Технический результат - повышение чувствительности тензопреобразователя давления. 5 ил.
