Патенты автора МОРОЗУМИ, Еити (JP)
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПОЛИРОВКИ ИЗДЕЛИЙ // 2632045
Изобретение относится к области абразивной обработки и может быть использовано для полирования изделий, например подложек. Устройство содержит полировочную пластину, имеющую верхнюю поверхность с полировочной тканью и установленную с возможностью вращения в горизонтальной плоскости. Над полировочной пластиной предусмотрено верхнее кольцо с возможностью перемещения вверх и вниз и вращения в горизонтальной плоскости. Несущая пластина расположена между полировочной пластиной и верхним кольцом. Предусмотрен стопор для остановки и удерживания несущей пластины, перемещаемой к нижней стороне верхнего кольца путем поворота полировочной пластины в положении полировки. В результате обеспечивается устройство, имеющее малые размеры и простую конструкцию. 7 з.п. ф-лы, 7 ил.
