Патенты автора МАЙРХОФЕР, Пауль, Хайнц (AT)
Изобретение может быть использовано при нанесении оксидного покрытия, в частности Al-Cr-O, на подложку методом физического осаждения из паровой фазы (PVD). Осуществляют нанесение реакционного PVD-покрытия на поверхность подложки в камере с использованием технологического газа, содержащего химически активный газ, в частности кислород, реагирующий с ионами металлов, полученными из по меньшей мере одной мишени, для осаждения по меньшей мере одного слоя, состоящего из Al, Cr, Si и О. По меньшей мере одна мишень имеет элементный состав, представленный формулой Al1-x-yCrxSiy, где 0,05≤y≤0,10 и 0,20≤x≤0,25. Добавка Si предотвращает образование оксидных островков на мишенях в процессе реакционного нанесения покрытия. 4 н. и 10 з.п. ф-лы, 5 ил.
