Патенты автора Воронова Наталья Владимировна (RU)

Способ определения параметров плазменного травления материалов в процессе обработки изделий включает измерение параметров модельного образца в виде структуры, образованной первой и второй акустическими линиями задержки (АЛЗ), содержащими входные и выходные электроакустические преобразователи, выполненные на одной грани плоского кристаллического звукопровода, другая противолежащая грань которого открыта для плазменного травления. Моды колебаний АЛЗ выбраны из условия обеспечения различий в зависимости времени задержки от температуры и толщины звукопровода таким образом, чтобы первая АЛЗ обладала большей чувствительностью к температуре и меньшей чувствительностью к изменению толщины звукопровода в процессе травления, а вторая АЛЗ - меньшей чувствительностью к температуре, но большей чувствительностью к изменению толщины звукопровода в процессе травления по отношению к первой АЛЗ. Искомые параметры упомянутого травления определяют по временной зависимости разности откликов выходных преобразователей при подаче сигнала возбуждения на входные преобразователи АЛЗ. Технический результат - снижение уровня пороговых значений и повышение точности измерения параметров плазменного травления с автоматическим учетом текущей температуры процесса. 7 з.п. ф-лы, 6 ил.

Использование: для физико-химического анализа жидких и газообразных сред с использованием акустических волн. Сущность изобретения заключается в том, что акустический сенсор системы электронный нос и электронный язык содержит плоскопараллельную пластину из пьезоэлектрического кристалла с кристаллографической осью, лежащей в плоскости пластины, имеющей лицевую и тыльную стороны; электроакустические встречно-штыревые преобразователи (ВШП), размещенные парами и образующие две совокупности акустических каналов для поверхностных акустических волн (ПАВ) с длиной волны, много меньшей толщины пластины, и семейства пластинчатых мод колебаний (ПМК) с длиной волны, меньшей или равной толщине пластины; локальную зону для внесения анализируемой жидкости, размещенную на пластине, при этом в акустических каналах для ПАВ размещены пленки веществ, чувствительных к составу газовой пробы, имеющие форму полосок, длина которых совпадает с направлением распространения ПАВ, а ширина составляет не менее ширины ВШП, локальная зона для внесения анализируемой жидкости образована на лицевой поверхности пластины, ограничена по меньшей мере одной цилиндрической кюветой для жидкости с открытым горлом, дном которой является упомянутая пластина, при этом ВШП для возбуждения ПМК размещены по периферии вокруг цилиндрической кюветы, а акустические каналы для ПАВ размещены вне зоны размещения кюветы. Технический результат: обеспечение возможности повышения информативности и чувствительности акустического сенсора. 10 з.п. ф-лы, 12 ил.

Изобретение относится к метрологии, в частности к акустическим датчикам. Чувствительный элемент для акустического жидкостного сенсора содержит плоскую пластину из монокристаллического кремния, пьезоэлектрический материал, нанесенный на поверхность пластины и связанный с системой встречно-штыревых преобразователей для возбуждения и приема акустических пластинчатых мод колебаний, локальную ванну для жидкого аналита. Пьезоэлектрический материал нанесен на обе поверхности пластины, выполнен в виде пленок окиси цинка, имеющих разную толщину, пленка большей толщины h1 сообщена с системой встречно-штыревых преобразователей, а пленка меньшей толщины h2 образует дно локальной ванны. Толщина Н пластины много больше толщин h1, h2. Плоскость пластины совпадает с кристаллографической плоскостью (001), а направление распространения акустических пластинчатых мод - с направлением <100> монокристаллического кремния. Акустические пластинчатые моды колебаний представляют собой слабодисперсионные квазипродольные моды с фазовой скоростью, близкой к фазовой скорости объемной продольной волны в кристаллографическом направлении <100> монокристаллического кремния, и удовлетворяют приведенным условиям. Технический результат - повышение эффективности электромеханического преобразования, уменьшение вертикальной компоненты упругого смещения в локальной ванне. 2 з.п. ф-лы, 7 ил.

 


Наверх