Патенты автора СПЕРЛИНГ Франк Бернард (NL)
Группа изобретений относится к позиционирующему устройству, например, для использования в качестве платформы для заготовки для интегральных схем. Платформа с длинным ходом и платформа с коротким ходом укладываются друг на друга. Чтобы инициировать перемещение платформы с длинным ходом и платформы с коротким ходом в требуемом направлении перемещения платформа с длинным ходом сначала перемещается в противоположном направлении, которое является противоположным требуемому направлению движения, и/или платформа с коротким ходом сначала перемещается в требуемом направлении перемещения в течение предварительно определенного интервала времени и на расстояние, меньшее, чем расстояние между ферромагнитным центральным ходовым элементом и ближайшим одним из двух актуаторов в неподвижном состоянии платформы с длинным ходом. Затем платформа с длинным ходом перемещается в требуемом направлении перемещения. Технический результат – стабильность температуры, уменьшение потребления энергии и равномерное распределение температуры. 3 н. и 9 з.п. ф-лы, 13 ил.
