Патенты автора РУДИГИР Хельмут (CH)
СПОСОБ ГОМОГЕННОГО НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ HIPIMS // 2633516
Настоящее изобретение относится к импульсному магнетронному распылению. Способ физического нанесения покрытия из газовой фазы путем распыления в вакуумированной камере для нанесения покрытий включает следующие этапы: a) подготовка генератора с заданной постоянной отдачей мощности, предпочтительно, по меньшей мере после подключения и по окончании интервала увеличения мощности, b) подключение генератора, c) присоединение первого частичного катода к генератору так, чтобы мощность генератора подавалась на первый частичный катод, d) отсоединение генератора от первого частичного катода по окончании заданного первого интервала импульсов высокой мощности, соответствующего первому частичному катоду, e) присоединение второго частичного катода к генератору так, чтобы мощность генератора подавалась на второй частичный катод, f) отсоединение генератора от второго частичного катода по окончании заданного второго интервала импульсов высокой мощности, соответствующего второму частичному катоду. Частичные катоды предусмотрены по высоте камеры для нанесения покрытий, а длительность первого интервала импульсов высокой мощности согласуют с длительностью другого интервала импульсов высокой мощности таким образом, чтобы слой, образующийся в результате нанесения покрытия, имел заданное распределение толщин слоев по высоте камеры для нанесения покрытий. Технический результат- повышение эффективности нанесения покрытия на деталь. 12 з.п. ф-лы, 1 ил.
