Патенты автора Новоторцев Роман Юрьевич (RU)
Способ получения хлорсиланов из аморфного кремнезема для производства кремния высокой чистоты // 2637690
Изобретение относится к химии кремния и может быть использовано для производства кремния полупроводникового качества. Описан способ получения хлорсиланов из аморфного кремнезема для производства кремния высокой чистоты хлорированием аморфного диоксида кремния, согласно которому в реактор вводят кремнийсодержащее сырье и восстановитель, при этом сырье подают в реактор, реализующий процесс конверсии в псевдосжиженном слое реагентов за счет протекания окислительно-восстановительного процесса на поверхности твердых частиц, исходно содержащей силанольные и силоксановые группы, промотирующие процесс, с дальнейшей очисткой полученного продукта. Технический результат: получены хлорсиланы высокой чистоты с использованием экологически безопасного исходного сырья. 1 з.п. ф-лы.
