Патенты автора Семенова Ангелина Николаевна (RU)
Изобретение относится к области нанесения покрытий и может быть использовано для формирования интерметаллического антиэмиссионного покрытия на сеточных электродах мощных генераторных ламп. Способ получения интерметаллического антиэмиссионного покрытия Pt3Zr на сеточных электродах мощных генераторных ламп включает формирование на тугоплавкой подложке слоев карбида материала сеточного электрода, циркония и карбида циркония, поверхностного слоя платины и последующий отжиг сеточного электрода с нанесенным комбинированным покрытием. Слой карбида циркония получают послойным осаждением из плазменного потока, формируемого при распылении циркониевого катода посредством вакуумно-дугового разряда, при подаче паров бензола, нанослоев циркония, карбида циркония переменного состава и карбида циркония с избыточным содержанием углеродной фазы, и последующим отжигом в вакууме. Пары бензола подают с помощью натекателя за один импульс, обеспечивающий изменение давления от 3.3⋅10-2 Па до 8.7⋅10-2 Па. Обеспечивается получение бездефектного покрытия и, как следствие, повышение эксплуатационных свойств выпускаемых приборов. 3 ил., 1 пр.
