Патенты автора ВИЛАНД, Марко Ян-Яко (NL)
Многоэлектродная охлаждаемая конструкция // 2644388
Изобретение относится к генерированию пучка заряженных частиц и системе литографии пучками заряженных частиц. Электрод коллиматора, используемый в генераторе пучков заряженных частиц, содержит тело (81) электрода, которое снабжено центральной апертурой (82), при этом тело электрода задает высоту электрода между двумя противоположными основными поверхностями, и вмещает охлаждающий канал (105) внутри тела электрода для переноса охлаждающей жидкости (102). Тело электрода предпочтительно имеет дисковую форму или сплющенную кольцевую форму. Изобретение дополнительно относится к пакету электродов коллиматора для использования в генераторе пучков заряженных частиц, содержащему первый электрод коллиматора и второй электрод коллиматора, которые снабжены охлаждающим каналом (105) для переноса охлаждающей жидкости (102), и соединительный канал (110) для жидкостного соединения между охлаждающими каналами первого и второго электродов коллиматора. Технический результат - обеспечение термомеханической устойчивости при сильных токах пучка и в условиях сильных электрических полей. 4 н. и 25 з.п. ф-лы, 15 ил.
