Патенты автора Живихин Алексей Васильевич (RU)
Изобретение относится к электронной технике, в частности к полевым эмиссионным элементам, содержащим углеродные нанотрубки, используемые в качестве катодов, а также способу их изготовления. Способ изготовления полевого эмиссионного элемента включает формирование на электропроводящей подложке диэлектрического слоя, формирование маски для травления диэлектрического слоя и электропроводящей подложки, формирование матрицы отверстий в диэлектрическом слое и углублений в подложке, формирование слоя катализатора для выращивания углеродных нанотрубок, удаление маски, формирование маски для травления слоя катализатора, жидкостное химическое травление слоя катализатора с образованием областей катализатора внутри углублений в электропроводящей подложке для последующего выращивания углеродных нанотрубок, удаление маски, плазмохимическое осаждение второго диэлектрического слоя, магнетронное осаждение вытягивающего слоя, формирование маски для травления структуры, состоящей из вытягивающего и второго диэлектрического слоев, над ранее сформированными областями катализатора внутри углублений в подложке для последующего выращивания углеродных нанотрубок, плазмохимическое анизотропное травление с образованием отверстий в вытягивающем и диэлектрическом слоях до формирования сквозного отверстия, удаление маски, изотропное газофазное травление второго диэлектрического слоя до вскрытия катализатора, парофазный синтез углеродных нанотрубок на катализаторе. Технический результат - предотвращение замыкания между УНТ и вытягивающим электродом, уменьшение токов утечки, повышение тока эмиссии, повышение теплоотвода с углеродных нанотрубок, повышение технологичности изготовления, надежности и увеличение выхода годных. 4 ил.
Электрод суперконденсатора // 2670281
Изобретение относится к электронной технике, в частности к суперконденсаторам. Изобретение может быть использовано в энергетике, при создании высокоэффективных генераторов и накопителей электрической энергии, в автономных мобильных миниатюрных слаботочных источниках питания, применяемых в системах микроэлектроники. Электрод выполнен в виде подложки, на которой сформирована матрица структур, образованных массивами вертикально ориентированных углеродных нанотрубок, покрытых полианилином, содержащим атомы изотопа углерода С-14. Изобретение позволяет улучшить электрические характеристики суперконденсатора и продлить срок его службы. 6 з.п. ф-лы, 1 ил.
Радиоприёмное устройство // 2662908
Использование: для создания элементов и приборов радиоприемной аппаратуры. Сущность изобретения заключается в том, что радиоприемное устройство, содержащее подложку с нанесенным на нее, по меньшей мере одним, диэлектрическим слоем, в диэлектрическом слое и подложке выполнено углубление, на поверхности диэлектрического слоя с примыканием к углублению на его сторонах выполнены катод, анод, радиоэлектрод и управляющий электрод с отсутствием электрического контакта между ними, на боковой поверхности катода, примыкающей к углублению, сформирован массив из углеродных нанотрубок, область с углублением закрыта герметизирующей пластиной. Технический результат: обеспечение возможности увеличения амплитуды выходного низкочастотного сигнала посредством увеличения автоэмиссионного тока, повышения стабильности работы и срока службы радиоприемного устройства. 9 з.п. ф-лы, 5 ил.
Изобретение относится к электронной технике, в частности к способам изготовления суперконденсаторов. Способ изготовления электрода суперконденсатора заключается в нанесении на проводящую подложку буферного слоя, каталитического слоя, затем диэлектрического слоя, вскрытии в диэлектрическом слое матрицы окон до каталитического слоя с поперечным размером 40-60 мкм, осаждении в окнах массивов вертикально ориентированных углеродных нанотрубок, функционализации поверхности углеродных нанотрубок кислородсодержащими группами, формировании слоя полианилина, содержащего изотоп С-14, на вертикально ориентированных углеродных нанотрубках электрохимическим осаждением, отжиге. Изобретение обеспечивает функцию самозарядки в суперконденсаторе. 12 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к способу изготовления радиоприемного устройства с применением углеродных нанотрубок. Технический результат заключается в повышении стабильности работы и срока службы радиоприемного устройства с применением углеродных нанотрубок. Способ изготовления радиоприемного устройства с углеродными нанотрубками включает формирование диэлектрического слоя 2 на поверхности подложки 1, формирование электрически развязанных между собой катода 3, анода 4, радиоэлектрода и управляющего электрода с контактными площадками и с расположением их торцов по сторонам прямоугольника, формирование области каталитического слоя 7 на поверхности катода 3, примыкающей к его торцу, покрытие защитным слоем 8 каталитического слоя 7, за исключением боковой грани, примыкающей к торцу катода 3, формирование углубления в диэлектрическом слое и подложке с примыканием торцов электродов к нему проекционной фотолитографией и реактивным ионным плазменным травлением, выращивание массива углеродных нанотрубок 9 путем плазмо-химического осаждения из газовой фазы на боковой грани каталитического слоя 7, нанесенного на катод 3, обращенной к углублению, сращивание полученной структуры и герметизирующей пластины с помощью стеклянного припоя. 10 з.п. ф-лы, 11 ил.
Изобретение относится к электронной технике, в частности к полевым эмиссионным элементам, содержащим углеродные нанотрубки, используемые в качестве катодов, а также способу их изготовления. Полевой эмиссионный элемент содержит электропроводящую подложку 1, расположенный на ней диэлектрический слой 3, над которым расположен вытягивающий слой 5, в структуре, состоящей из вытягивающего 5 и диэлектрического 3 слоев, выполнена матрица сквозных отверстий 7, на стенках которых расположен изолирующий слой 6, а на дне отверстий расположен слой катализатора 4, на котором сформирован массив углеродных нанотрубок 2. Способ изготовления полевого эмиссионного элемента включает формирование на электропроводящей подложке слоя катализатора для выращивания углеродных нанотрубок, формирование маски для травления слоя катализатора, жидкостное химическое травление слоя катализатора с образованием областей катализатора для последующего выращивания углеродных нанотрубок, удаление маски, плазмохимическое осаждение диэлектрического слоя, магнетронное осаждение вытягивающего слоя, формирование маски для травления структуры, состоящей из вытягивающего и диэлектрического слоев, над ранее сформированными областями катализатора для последующего выращивания углеродных нанотрубок, плазмохимическое анизотропное травление с образованием отверстий в вытягивающем и диэлектрическом слоях до слоя катализатора, удаление маски, изотропное осаждение изоляционного слоя, анизотропное плазмохимическое травление изоляционного слоя на вытягивающем слое и в на дне отверстий до слоя катализатора с формированием изоляционного слоя на боковых поверхностях отверстий, парофазный синтез углеродных нанотрубок на катализаторе. Технический результат - предотвращение замыканий, уменьшение токов утечки, повышение тока эмиссии, надежности и увеличение выхода годных. 2 н. и 10 з.п. ф-лы, 12 ил.
Изобретение относится к способам изготовления автоэмиссионных катодов с применением углеродных нанотрубок и может быть использовано для изготовления элементов и приборов вакуумной микро- и наноэлектроники. Способ включает осаждение на подложку электропроводящего буферного слоя, осаждение каталитического слоя, формирование вертикально ориентированного массива углеродных нанотрубок путем плазмохимического осаждения из газовой фазы с отношением длины углеродных нанотрубок к их диаметру в интервале от 25 до 75, термическую обработку массива углеродных нанотрубок в вакууме и обработку массива углеродных нанотрубок плазмой на основе водорода. Техническим результатом является увеличение максимальной плотности тока автоэмиссионных катодов на основе вертикально ориентированных массивов УНТ в совокупности с повышением стабильности тока эмиссии и срока службы катода. 15 з.п. ф-лы, 5 ил.
