Патенты автора Михайловский Григорий Александрович (RU)
Использование: микроэлектроника, технология полупроводниковых излучающих приборов, для изготовления меза-структуры полосковых лазеров. Сущность изобретения: способ включает формирование омического контакта к приконтактному слою p-типа проводимости лазерной гетероструктуры методом взрывной фотолитографии, усиление омического контакта локальным гальваническим осаждением, формирование меза-структуры полоскового лазера плазмохимическим травлением, вжигание омического контакта быстрым термическим отжигом. При этом достигается снижение трудоемкости изготовления меза-структуры полоскового лазера за счет исключения технологических операций по созданию и удалению защитной маски при формировании меза-структуры полоскового типа и прецизионного совмещения топологии омического контакта и топологии меза-структуры. 3 ил.
