Патенты автора Фокин Виталий Владимирович (RU)
Изобретение может быть использовано при определении коэффициентов поглощения прозрачных пленкообразующих материалов, преимущественно, для лазерных гироскопических зеркал. Способ определения коэффициентов поглощения прозрачных пленкообразующих материалов заключается в том, что направляют лазерное излучение на зеркало и определяют суммарные потери излучения Loss до и потери на рассеяние излучения Sдо, измеряют потери на пропускание излучения τдо и затем наносят полуволновой или кратный ему слой прозрачного пленкообразующего материала и измеряют суммарные потери излучения Loss после, потери на рассеяние излучения Sпосле и потери на пропускание излучения τпосле, после чего определяют потери излучения, связанные только с поглощением до и после нанесения слоя и определяют коэффициент k(λ) поглощения пленкообразующих материалов. Технический результат - повышение точности определения коэффициента поглощения прозрачных пленкообразующих материалов. 3 ил., 1 табл.
Изобретение относится к способу очистки подложек из ситалла. Способ включает химическую очистку и промывку в деионизованной воде. После промывки в деионизованной воде подложки из ситалла предварительно нагревают в струе высокочастотной плазмы на расстоянии от 60 до 120 мм от среза высокочастотного плазмотрона в течение от 1 мин до 2 мин при мощности ВЧ генератора от 1400 Вт до 1500 Вт изменением расхода технологического газа от 0,04 г/с до 0,06 г/с. Затем проводят очистку подложек из ситалла в струе высокочастотной плазмы в течение от 5 минут до 10 минут при мощности высокочастотного генератора от 1500 Вт до 1750 Вт, расходе плазмообразующего газа от 0,06 до 0,08 г/с, давлении от 19,0 до 26,6 Па с последующим плавным снижением расхода газа от 0,06 г/с до 0,04 г/с в течение от 1 мин до 2 мин. Способ обеспечивает получение чистой гидрофильной поверхности подложек ситалла без загрязнений в виде отдельных частиц или в виде пленки. 3 з.п. ф-лы, 1 табл.
