Патенты автора Струнин Владимир Иванович (RU)

Изобретение относится к способу формирования тонких пленок аморфного кремния и к устройству для его осуществления. Способ основан на осаждении продуктов разложения силансодержащей газовой смеси на нагретую подложку, которое выполняют в плазме ВЧЕ-разряда в разрядной камере изолированно от камеры осаждения с последующим формированием из продуктов разложения сверхзвуковых струй, истекающих в вакуумную камеру осаждения через систему сверхзвуковых сопел, установленных в стенке разрядной камеры. В разрядную камеру дополнительно подают аргон в направлении системы сверхзвуковых сопел, а подачу силансодержащей газовой смеси осуществляют в направлении перпендикулярном подаче аргона вдоль поверхности верхней стенки разрядной камеры, содержащей систему сверхзвуковых сопел. Соотношение скорости подачи аргона к скорости подачи силансодержащей газовой смеси подбирают из условия получения концентрации силана C=1,5÷2,5%. В результате повышается качество аморфной пленки за счет исключения оседания частиц на стенках рабочей камеры плазмотрона и снижения вероятности реакций образования высокомолекулярных соединений силана и пылевых частиц. 2 н.п. ф-лы, 2 ил., 1 пр.

 


Наверх