Патенты автора ДЕН БУР Хендрик (NL)
Изобретение относится к устройству модуляции для модуляции элементарных пучков заряженных частиц в соответствии с данными рисунка в системе литографии многочисленными элементарными пучками заряженных частиц. Устройство содержит пластинчатый корпус, решетку дефлекторов элементарных пучков, множество выводов (202-205) источника питания для подачи по меньшей мере двух различных напряжений, множество схем управления и проводящую пластину (201) для подачи электрической мощности на один или несколько выводов (202-205) источника питания. Пластинчатый корпус разделен на удлиненную зону (51) действия пучков и удлиненную зону (52) отсутствия действия пучков, расположенных своими длинными краями смежно друг к другу. Дефлекторы элементарных пучков расположены в зоне действия пучков. Схемы управления расположены в зоне отсутствия действия пучков. Проводящая пластина подсоединена к схемам управления в зоне отсутствия действия пучков. Проводящая пластина содержит множество тонких проводящих пластинок (202-205). Технический результат - снижение влияния нежелательных магнитных полей на пучки заряженных частиц. 4 н. и 13 з.п. ф-лы, 10 ил.
