Патенты автора ЛИ Кон Чхуль (KR)
УСТРОЙСТВО ВЫРАВНИВАНИЯ ПОДЛОЖКИ ДЛЯ ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНОЙ УСТАНОВКИ СОВМЕЩЕНИЯ ФОТОШАБЛОНОВ // 2650724
Заявленные изобретения относятся к области фотолитографии и предназначены для выравнивания подложки высокопроизводительной установки совмещения фотошаблонов. Техническим результатом является улучшение процесса выравнивания подложки и, в частности, разработка новой технологии предотвращения проблем выравнивания путем надежной фиксации полностью выровненной подложки пластины. Для решения указанной задачи в соответствии с настоящим изобретением, когда стопорное кольцо, вставленное на внешней стороне выравнивающего стержня, сохраняет наклонное состояние, выполняют блокировку таким образом, чтобы внутренняя круговая поверхность стопорного кольца фиксировала противоположные стороны выравнивающего стержня путем подачи давления на стержень, а при горизонтальном положении стопорного кольца выполняют разблокировку таким образом, чтобы внутренняя круговая поверхность стопорного кольца находилась на расстоянии от выравнивающего стержня. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 13 ил.
