Патенты автора Старцева Арина Валерьевна (RU)
Настоящее изобретение относится к области микромеханики и измерительной технике, в частности к микромеханическим резонаторам. Способ определения коэффициентов модели Кельвина-Фойгта для клеевого соединения микромеханического резонатора с основанием, заключающийся в измерении резонансной частоты и добротности микромеханического резонатора. При этом резонансную частоту и добротность микромеханического резонатора измеряют по крайней мере два раза, причем первый раз их измеряют после изготовления микромеханического резонатора в составе пластины кремния, а второй - после соединения микромеханического резонатора с основанием, при этом коэффициенты определяют по построенным зависимостям максимального значения модуля передаточной функции микромеханического резонатора, рассчитанного для разных значений коэффициентов модели Кельвина-Фойгта, и частоты, соответствующей этим максимальным значениям. Технический результат - повышение точности определения коэффициентов модели Кельвина-Фойгта. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
