Патенты автора Габсалямов Альфред Габдуллович (RU)

Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при разработке и изготовлении приборов на основе транзисторов с металлическим каналом. Пленочный полевой транзистор с металлическим каналом, который содержит сформированные на изолирующей подложке электроды истока и стока, между которыми расположен электрод затвора, покрытый изолятором затвора, а на изоляторе затвора и на электродах истока и стока, образуя с ними омические контакты, расположен слой металлического канала, у которого удельное сопротивление ρ металлического канала составляет 0,1-10 Ом⋅м, толщину L металлического канала выбирают в диапазоне толщин 30-150 нм по определенному условию. Металлы, из которых сформированы электрод затвора и металлический канал, выбирают с обеспечением контактной разности потенциалов между электродом затвора и металлическим каналом, а в металлическом канале для управления током канала расположен объемно-пространственный заряд, который индуцируют напряжением контактной разности потенциалов. Такой пленочный полевой транзистор с металлическим каналом позволяет обеспечить технический результат, заключающийся в повышении быстродействия, выходной мощности и расширении области применения транзистора. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

 


Наверх