Патенты автора Шиллинг Никита Георгиевич (RU)
Магнетронная распылительная головка // 2656318
Изобретение относится к магнетронной распылительной головке. Охлаждаемая магнитная система магнетронной распылительной головки состоит из магнитов и магнитопровода и оснащена каналами охлаждения. Магнитная система зафиксирована в корпусе криволинейной формы. Верхняя часть магнитопровода выполнена конической. Устройство фиксации выполнено в виде полой проводящей трубы, соединенной с корпусом, на которой снаружи установлен диэлектрический держатель. Внутри трубы размещены каналы охлаждения магнитной системы и трубопровод подачи электролита и газа. Корпус оснащен сквозным каналом, который, в свою очередь, соединен с трубопроводом подачи электролита и газа. Наружная поверхность корпуса сформирована с мелкоразмерным рельефом поверхности от 0,2 до 10 мм. Отрицательный полюс блока питания соединен с устройством фиксации, образуя катод, а положительный с изделием, образуя анод. Технический результат заключается в повышении качества поверхности, а также расширении технологических возможностей обработки изделия. 2 ил., 1 табл.
