Патенты автора Мягков Виктор Григорьевич (RU)

Изобретение относится к области технологических процессов, связанных с получением высокоанизотропных композиционных материалов с помощью твердотельных реакций по методу алюмотермии и формированию в них магнитной вращательной анизотропии. Получаемый материал может быть использован в качестве элементов спинтроники и микроэлектроники. Способ получения композиционного высокоанизотропного материала CoPt-Al2O3 с вращательной анизотропией характеризуется тем, что на монокристаллическую подложку осаждают магнетронным распылением в вакууме 10-6 Торр при температуре 250°С слой платины, затем на слой платины термическим осаждением в вакууме 10-6 Торр наносят слой кобальта при комнатной температуре, проводят вакуумный отжиг полученной двухслойной пленки при температуре 400°С в течение 90 минут с обеспечением формирования магнитожесткой фазы L10-CoPt(111), которую подвергают окислению на воздухе при температуре 550°С в течение 3 часов, затем на поверхность полученной Co3O4+Pt пленки термическим осаждением наносят слой алюминия в вакууме 10-6 Торр при комнатной температуре и проводят отжиг полученной пленочной структуры Al/Co3O4+Pt в вакууме 10-6 Торр в температурном интервале от 350 до 650°С с шагом 100°С и выдержкой при каждой температуре в течение 40 минут. Получают с помощью твердофазных реакций пленки CoPt-Al2O3, имеющие намагниченность ~700 emu/cm3, коэрцитивную силу 5 кЭ и обладающие магнитной вращательной анизотропией Lrot=7⋅105 emu/cm3, позволяющей произвольно устанавливать легкую ось намагничивания в любом направлении относительно плоскости пленки с помощью магнитного поля величиной более значения коэрцитивной силы. 1 ил., 1 пр.

Изобретение относится к способу нанесения нанопленочного покрытия на подложку и может быть использовано для получения нанопокрытий на поверхностях различных подложек при невысокой температуре. Осуществляют импульсно-плазменное напыление с лазерным поджигом. Используют импульсный режим работы эксимерного ультрафиолетового лазера и собственные ионы материала мишени для создания рабочей плазмы. Используют ультрафиолетовое излучение с прецизионно низкой мощностью для начального поджига при создании рабочей плазмы и используют импульсный режим работы источника питания магнетрона с временем работы меньше, чем частота следования лазерных импульсов. Техническим результатом изобретения является улучшение оптических и структурных свойств напыляемых покрытий за счет использования плазмы из собственных ионов распылительной мишени и использования прецизионно низкой мощности лазерного излучения. 1 ил.

Изобретение относится к способу создания прозрачных проводящих композитных нанопокрытий (варианты). По первому варианту предварительно осуществляют химическое осаждение на нагретую подложку тонкой пленки углеродных нанотрубок. Осуществляют реактивное магнетронное распыление металлической мишени в атмосфере газовой смеси инертного и реактивного газов с осаждением на подложку покрытия из оксида индия. При реактивном магнетронном распылении используют мишень из чистого индия, а в качестве упомянутой газовой смеси используют газовую смесь с содержанием инертного газа и 30% кислорода. По второму варианту предварительно на подложку наносят наномикросетку методом растрескивающихся полимерных шаблонов с использованием жидкого кремнезоля и напылением металла с электронной проводимостью. Осуществляют реактивное магнетронное распыление металлической мишени в атмосфере газовой смеси инертного и реактивного газов, с осаждением на подложку покрытия из оксида индия. При реактивном магнетронном распылении используют мишень из чистого индия и газовую смесь с содержанием в ней 21% кислорода. Техническим результатом является снижение поверхностного сопротивления прозрачных проводящих покрытий с электронной проводимостью, а также получение прозрачного проводящего покрытия с дырочной проводимостью. 2 н.п. ф-лы, 1 ил., 2 пр.

Изобретение относится к способу получения тонких магнитных наногранулированных пленок. Способ включает последовательное осаждение на термостойкую подложку тонкой пленки оксида ферромагнитного металла и слоя металла-восстановителя при комнатной температуре с последующим вакуумным отжигом полученной двухслойной пленки. Слой оксида ферромагнитного металла наносят высокочастотным магнетронным распылением металлической кобальтовой мишени в атмосфере из смеси газов, состоящей из 70% аргона и 30% кислорода при комнатной температуре. На полученный слой в качестве металла-восстановителя осаждают слой алюминия методом низкочастотного магнетронного распыления в атмосфере чистого, не менее 99,99%, аргона, после чего осуществляют вакуумный отжиг полученной двухслойной пленки при температуре 700°С. Технический результат заключается в упрощении технологии получения пленок, отсутствует агломерация магнитных наногранул, обеспечении возможности синтеза пленок с магнитными наногранулами заданного размера от единиц до сотни нанометров с малой дисперсностью магнитных наногранул. 2 ил., 1 пр.

Изобретение относится к способу получения на подложке пленок с ферромагнитными кластерами Mn5Ge3Ox в матрице GeO при низких температурах. Получаемая Mn5Ge3Ox фаза может быть использована в качестве элементов спинтроники. Способ включает подготовку подложки, нанесение на нее слоя германийсодержащего вещества и слоя марганца и последующий отжиг полученного двухслойного образца. В качестве германийсодержащего вещества на подложку термически наносят слой моноокиси германия. Перед нанесением слоя марганца осуществляют охлаждение подложки с нанесенным слоем моноокиси германия до комнатной температуры. Отжиг полученного образца выполняют при температуре 300°C. Техническим результатом данного изобретения является уменьшение количества технологических циклов и требований к вакууму за счет снижения температуры образования Mn5Ge3Ox (фазы Новотного) до 300°C, при этом достигаются высокие магнитные характеристики: Ms=600 emu/cm3, Тс=420 K, что приводит к увеличению функциональных возможностей Mn5Ge3Ox-GeO2 пленочных образцов. 1 ил.

 


Наверх