Патенты автора Булгадарян Даниэль Грантович (RU)
Изобретение относится к способу определения толщины и контроля скорости эрозии и осаждения тонких слоев на обращенных к плазме элементах плазменных установок. В изобретении предусмотрено изготовление и помещение в плазменную установку мишеней из легкого и/или тяжелого элемента (например, вольфрам на боре или углерод на вольфраме) с заданной толщиной поверхностного слоя в те места установки, в которых предполагается исследовать скорость эрозии и/или осаждения, с последующим анализом энергетических спектров отраженных на угол 30-90° от экспонированных мишеней ионов водорода с начальной энергией в диапазоне 1-20 кэВ. Толщина тяжелого поверхностного слоя определяется по полуширине высокоэнергетичного пика на энергетическом спектре, а толщина легкого поверхностного слоя - по положению пика на энергетическом спектре. Скорость эрозии/осаждения при этом, как и при использовании СРОР, определяется как отношение изменения толщины поверхностного слоя мишени к количеству импульсов или времени существования плазменного разряда в плазменной установке. Техническим результатом является увеличение чувствительности, уменьшение времени анализа при определении скорости эрозии и осаждения тонких поверхностных слоев на обращенных к плазме элементах плазменных установок. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил.
