Патенты автора ШМИД, Зиглинде (US)
СПОСОБЫ, МАТЕРИАЛЫ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ УЛУЧШЕНИЯ УПРАВЛЯЕМОСТИ И ЭФФЕКТИВНОСТИ ПОСЛОЙНЫХ ПРОЦЕССОВ // 2659525
Изобретение относится к способу осаждения пленки на подложку. Проводят нанесение первого осадительного раствора, содержащего первый осаждаемый материал, на подложку с образованием первого монослоя упомянутого первого осаждаемого материала, нанесение промывочного раствора на первый монослой на время trinse с образованием промывочного слоя для удаления избыточного первого осаждаемого материала, при этом trinse≤10 секунд. Осуществляют уменьшение толщины упомянутого промывочного слоя с образованием остаточного промывочного слоя с толщиной от 0 до 5 мкм. Проводят либо нанесение второго осадительного раствора, содержащего второй осаждаемый материал, на упомянутый остаточный промывочный слой на время tdep с образованием второго монослоя упомянутого второго осаждаемого материала, при этом упомянутый остаточный промывочный слой имеет ненулевую толщину, либо нанесение упомянутого второго осадительного раствора, содержащего упомянутый второй осаждаемый материал, на упомянутый первый монослой на время tdep с образованием упомянутого второго монослоя упомянутого второго осаждаемого материала, при этом упомянутый остаточный промывочный слой отсутствует, при этом tdep≤10 секунд, при этом упомянутый первый монослой и упомянутый второй монослой образуют двойной слой. Обеспечивается эффективность переноса материала при послойном нанесении покрытия, при этом обеспечивается возможность управления эффектами, возникающими при нанесении двойных слоев, такими как неоднородность, межфазное смешивание между границами раздела двойных слоев, увеличенное оптическое помутнение, высокая изменчивость в скоростях роста и увеличенная поверхностная шероховатость. 14 з.п. ф-лы, 5 ил., 2 табл., 7 пр.
