Патенты автора Курбатова Надежда Васильевна (RU)
АЛМАЗНАЯ ДИФРАКЦИОННАЯ РЕШЕТКА // 2661520
Изобретение относится к области оптического приборостроения и касается алмазной дифракционной решетки для видимого диапазона. Дифракционная решетка содержит алмазную подложку с внедренной в ее поверхность дифракционной периодической микроструктурой. Элементами дифракционной периодической микроструктуры являются графитизированные области на поверхности монокристаллического алмаза, подвергнутые ионному облучению ионами бора и характеризуемые другой диэлектрической проницаемостью относительно материала подложки. Технический результат заключается в обеспечении возможности создания дифракционной решетки на монокристаллическом алмазе с возможностью ее использования, как для отраженного, так и для проходящего света. 10 ил.
Способ включает в себя формирование заданной периодической микроструктуры на поверхности полированного алмаза с помощью имплантации ионами бора с энергией 10-100 кэВ, дозой облучения 1⋅1015-1.0⋅1020 ион/см2 через поверхностную маску. Технический результат заключается в обеспечении возможности изготовления алмазных дифракционных решеток при помощи непрерывной имплантации ионами бора. 10 ил.
