Патенты автора Рагозин Евгений Николаевич (RU)

Изобретение относится к способу изготовления дифракционной решетки, предназначенной для применения в спектральном приборе. Способ включает в себя следующие этапы: находят рисунок штрихов дифракционной решетки в соответствии с законом изменения расстояния между этими штрихами, найденным согласно схеме спектрального прибора. Рассчитывают схему записи найденного рисунка штрихов. Наносят фоторезист на подложку, имеющую радиус кривизны, выбранный с учетом габаритов спектрального прибора. Размещают в записывающей установке первый и второй точечные источники когерентного излучения и вспомогательное сферическое зеркало, предназначенное для отражения лучей от второго точечного источника на подложку дифракционной решетки, в соответствии с рассчитанной схемой записи. Записывают рисунок штрихов на фоторезист с помощью построенной записывающей установки. Изготавливают методом интерференционной литографии рельеф дифракционной решетки на подложке с записанным на ней рисунком штрихов. Получают спектральное изображение с помощью установленной в спектральный прибор изготовленной дифракционной решетки и анализируют качество полученного спектрального изображения, благодаря чему проверяют качество изготовления дифракционной решетки и принимают решение о ее пригодности к применению в спектральном приборе. Данный способ, благодаря операции экспонирования в один прием, упрощает изготовление дифракционной решетки. 1 з.п., 4 ил.

 


Наверх