Патенты автора Голошевский Николай Владимирович (RU)
Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к лазерной микрообработке, и может быть использовано для формирования микроканалов на поверхности различных подложек из диэлектрических или металлических материалов, например из оптического материала и полупроводниковых материалов, при изготовлении оптических шкал, сеток, решеток. Изобретение реализуется за счет снабжения связанным с контроллером датчиком бесконтактного измерения локального расстояния, выполненным с возможностью измерения расстояния до подложки, расположенным в системе фокусирования лазерного луча и осуществляющим последовательное поточечное определение расстояний от системы фокусирования лазерного луча до поверхности подложки внутри полного поля микрообработки. Блок управления выполнен с возможностью формирования трехмерной топографии. Техническим результатом заявляемого изобретения является повышение качества верхнего края микроканала, уменьшение количества дефектов подложки в процессе изготовления микроканалов, повышение качества формируемых. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
Изобретение относится к области оптического приборостроения, а именно к лазерной микрообработке и может быть использовано для формирования микроканалов на поверхности подложек из стекла, кристаллов и полупроводниковых материалов при изготовлении оптических шкал, сеток, решеток и других устройств. Способ формирования микроканалов включает облучение поверхности подложки излучением лазера с фемтосекундной длительностью импульсов и длиной волны ультрафиолетового, видимого или ближнего ИК-диапазона. Лазерный луч сканируют линейным растровым методом по строкам на длину участка микрообработки с зонами холостого хода, по одной или более растровым зонам микрообработки, укладывающимся в ширину микроканала. В каждой строке первый импульс излучается на одной границе участка микрообработки, а последний - на другой его границе, длительность пачки импульсов меньше предельной длины участка микрообработки, при которой в подложке не возникают дефекты. Расстояние между строками не более их ширины. Длина каждой из зон холостого хода составляет 5-25% от длины участка микрообработки. Угол растра относительно образующей в каждой точке одного из контуров растровой зоны микрообработки составляет от 35° до 90°. Лазер, системы формирования, двухкоординатного сканирования и фокусирования луча и система позиционирования и фиксации подложки связаны с управляющей ЭВМ. Технический результат заключается в повышении качества микроканалов и формировании различных профилей микроканалов. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 2 ил.
