Патенты автора Азаров Иван Алексеевич (RU)

Изобретение относится к магнетронному распылительному устройству обращенного закрытого типа. В вакуумной камере с рабочим газом размещены по меньшей мере один анод, два распыляемых полых катода с расположенными внутри на держателе объектами для напыления, магнитную систему, создающую над поверхностью катодов магнитное поле. Катоды имеют форму вогнутых полых чаш, обращенных друг к другу и в рабочем состоянии разъемно соединенных горловинами, образуя таким образом замкнутый непрозрачный для распыляемого материала объем, в котором обеспечено встречное от первого и второго катодов движение атомов по траекториям, имеющим диапазон углов направленности потока распыляемого материала относительно центральной плоскости держателя объектов от 2° до 90°, осесимметрично. Технический результат заключается в обеспечении получения тонких пленок металлов и их соединений в вакууме на различных объектах, в том числе на объектах сложной геометрической формы, при минимальных невозвратных потерях распыляемого материала. 4 з.п. ф- лы, 2 ил.

Изобретение относится к cпособу управления скоростью распыления материала в геттерном насосе и устройству геттерного насоса. Предусмотрено автоматическое управление распылением геттерного материала в зависимости от текущего давления в камере: чем выше давление, тем меньше период следования импульсов поджига. В зависимости от выбранного оператором режима работы (рабочее значение давления, стартовое значение давления, состояние после достижения рабочего значения давления: дежурный режим или полное отключение) распыление геттерного материала автоматически по сигналу с блока управления или прекращается, или переводится в дежурный режим. Мощность поджигающего импульса при этом достаточна для возникновения дуги, но не приводит к досрочному разрушению изолятора поджигающего устройства. Техническим результатом является увеличение ресурса работы геттерного насоса за счет экономии распыляемого вещества и увеличения временного ресурса работы поджигающего устройства, а также увеличение временного ресурса работы геттерного насоса за счет увеличения временного ресурса работы поджигающего устройства. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

 


Наверх