Патенты автора Панкратов Олег Вячеславович (RU)
Изобретение относится к области медицины и биотехнологии, в частности к устройствам для осуществления инъекций, а именно к микроиглам, создаваемым технологиями, совместимыми с технологиями изготовления интегральных схем. Способ изготовления микроиглы в интегральном исполнении с внутренними каналами заключается в том, что вначале с первой стороны кремниевой пластины формируют контрольные элементы для точного позиционирования и точного травления. Затем со второй стороны пластины наносят алюминий и сверху слой фоторезиста. Далее проводят глубокое плазмохимическое травление, таким образом формируют каналы. После этого снимают слои фоторезиста и алюминия. Проводят процесс создания защитной пленки с двух сторон пластины. Затем с первой стороны кремниевой пластины, заодно с формированием маски формируют поддерживающие элементы - подвесы, например, в форме полос или пилообразных зубцов. Поддерживающие элементы - подвесы формируются так, что направление продольной оси поддерживающих элементов - подвесов совпадает с кристаллографическим направлением <111>, далее с первой стороны проводят глубокое анизотропное травление и снимают остатки защитной пленки. Задачей, на которое направлено настоящее изобретение является уменьшение размеров микроиглы, создание более простой технологии изготовления, улучшение параметров микроиглы (прочность, гладкость, воспроизводимость размеров), уменьшение соотношения между толщиной стенок и диаметром канала и за счет всего этого расширение функциональных возможностей микроиглы. 5 ил.
Использование: для формирования микроигл. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления микроигл и массива микроигл заключается в нанесении на верхней поверхности монокристаллической кремниевой подложки с ориентацией (100) защитной пленки, формировании в ней маски и последующем локальном анизотропном травлении кремния, при этом заодно с формированием маски между маской и периферийной областью защитной пленки, образующей при травлении внешнюю рамку, а также между соседними масками при изготовлении массива микроигл формируют поддерживающие элементы - подвесы, например, в форме полос или пилообразных зубцов, причем поддерживающие элементы - подвесы формируются так, что направление продольной оси поддерживающих элементов - подвесов совпадает с кристаллографическим направлением <111>. Технический результат: обеспечение возможности повышения качества и точности воспроизведения микроигл. 5 ил.
Изобретение относится к области приборостроения и может применяться для изготовления микромеханических элементов, используемых, в частности, для подвеса чувствительных масс микромеханических измерительных устройств, например кремниевых гироскопов и акселерометров, микроигл и т.д. Изобретение обеспечивает снижение трудоемкости изготовления и повышение качества и точности воспроизведения микромеханических элементов. В способе изготовления микромеханических элементов из пластин монокристаллического кремния ориентацией (100) вначале анизотропно травят пластину на глубину для получения требуемой толщины микромеханических элементов, одновременно с вышеуказанными операциями по формированию микромеханических элементов формируют тестовую структуру контрольных элементов, расположенную в зоне микромеханических элементов, формирование проводят на заданную глубину, определяемую математическим выражениями, и при этом формируют шкалы тестовой структуры. 4 ил.
