Патенты автора ТЕЙЛОР, Эдвард (US)
Изобретение относится к системе для плазменного напыления покрытий (варианты) и установке для плазменного напыления покрытий (варианты). Система содержит катод магнетрона с длинной кромкой и короткой кромкой. Магнитный полюс магнетрона обеспечивает создание электромагнитного барьера. По меньшей мере один удаленный дуговой разряд зажигается отдельно от катода магнетрона и в непосредственной близости от катода так, что он удерживается в пределах объема вблизи мишени магнетрона. Удаленный дуговой разряд распространяется параллельно длинной кромке мишени магнетрона и ограничивается поверхностью мишени с одной стороны и электромагнитным барьером со всех других сторон. Защитный кожух катода удаленного дугового разряда и защитный кожух анода проходят поверх дугового разряда и поперек короткой кромки катода магнетрона. Снаружи узла формирования плазмы расположена магнитная система, создающая магнитные силовые линии, которые проходят в плазму и удерживают плазму перед подложкой. Технический результат состоит в получении пленки покрытия высокого качества за счет обеспечения при нанесении покрытия генерирования частиц, обладающих высокой энергией. 4 н. и 25 з.п. ф-лы, 29 ил.
Изобретение относится к системе и способу нанесения покрытия. Система включает вакуумную камеру и узел для нанесения покрытия. Узел для нанесения покрытия включает в себя источник пара, держатель подложки, удаленный анод, электрически соединенный с мишенью-катодом, и узел катодной камеры. Узел катодной камеры включает в себя мишень-катод, первичный анод и экран, который изолирует мишень-катод от вакуумной камеры. В экране сформировано отверстие для передачи тока электронной эмиссии удаленной дуги от мишени-катода к удаленному аноду, который проходит вдоль длинного размера стороны мишени. Первичный источник питания включен между мишенью-катодом и первичным анодом, в то время как вторичный источник питания включен между мишенью-катодом и удаленным анодом. При этом линейный размер удаленного анода и короткий размер источника пара расположены параллельно размеру, в котором выполняют управление пятном дуги вдоль мишени-катода. 2 н. и 18 з.п. ф-лы, 51 ил., 1 табл.
