Патенты автора ЛАГАРД Тьерри Леон (FR)

Изобретение относится к области техники, связанной с получением плазмы из газовой среды в условиях электронного циклотронного резонанса. Способ создания плазмы для осуществления обработки поверхности или нанесения покрытия вокруг нитевидного компонента включает осуществление непрерывного прямолинейного перемещения нитевидного компонента через по меньшей мере два магнитных диполя, расположенных напротив друг друга и вокруг трубы, образующей камеру обработки, и введение микроволновой энергии между по меньшей мере двумя магнитными диполями. Технический результат – обеспечение возможности генерации плазмы, локализованной вокруг нитевидного компонента для минимизации объема камеры и потребляемого исходного газа и энергии с целью получения осесимметричной плазмы, чтобы обеспечить равномерность обработки детали методом плазмохимического осаждения из паровой фазы. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 5 ил.

 


Наверх