Патенты автора Козин Александр Андреевич (RU)
Распыляемый блок магнетрона для осаждения пленок твердых растворов TiхW1-xO3 относится к устройствам, используемым в электронике, оптоэлектронике, архитектуре, автомобилестроении и др. Распыляемый блок магнетрона для осаждения пленки в виде твердого раствора TiхW1-xO3 со стехиометрическим коэффициентом в диапазоне 0,01<x<0,05 содержит мишень, размещенную в реактивной среде, состоящей из плазмообразующего газа аргона и кислорода. Мишень выполнена из двух металлических пластин, расположенных на одной оси с магнетроном параллельно друг другу и жестко прикрепленных к нему. Внутренняя пластина выполнена охлаждаемой и изготовлена из титана, а внешняя – изготовлена из вольфрама, при этом в зоне ее эрозии выполнены прорези, расположенные симметрично относительно ее центра. Обеспечивается увеличение энергетической эффективности реактивного магнетронного распыления за счет управления химическим составом пленки TiхW1-xO3 посредством варьирования суммарной площадью прорезей и током разряда. 3 ил.
Изобретение относится к распылительному блоку магнетрона для осаждения пленок твердых растворов FexTi(1-x)O2 в диапазоне 0<х<0,6 на поверхности металлов, стекол или керамики. Упомянутый блок содержит мишень и охлаждающую пластину, причем мишень и охлаждающая пластина размещены в реактивной среде, состоящей из плазмообразующего газа в виде аргона и химически активного газа в виде кислорода. Мишень жестко прикреплена к охлаждающей пластине и выполнена в виде двух металлических пластин, параллельных друг другу и расположенных на одной оси с охлаждающей пластиной. Внутренняя пластина выполнена из железа, а внешняя - из титана, при этом титановая пластина выполнена с прорезями в кольцевой зоне эрозии, расположенными симметрично относительно центра мишени. Обеспечивается увеличение однородности пленок твердых растворов из двух оксидов с однородным составом по всей площади подложки, при этом химическим составом этого раствора можно управлять, варьируя суммарную площадь прорезей. 3 ил., 1 пр.
