Патенты автора Зыков Александр Юрьевич (RU)
Изобретение относится к области контрольно-измерительной техники и касается способа измерения толщины тонкопленочного покрытия на теплопроводной подложке. Способ включает в себя нанесение на покрытие тонкого слоя прозрачной жидкости и локальный нагрев покрытия пучком лазера. В слое жидкости в зоне нагрева возбуждается термокапиллярная конвекция, приводящая к деформации свободной поверхности жидкости в виде термокапиллярного углубления, размеры которого зависят от толщины покрытия. Толщину покрытия определяют по диаметру интерференционной картины, формируемой на экране отраженным от термокапиллярного углубления пробным пучком лазера. Технический результат заключается в упрощении процесса измерений. 3 ил.
