Патенты автора КЕРШБАУМЕР, Йорг (AT)
Изобретение относится к системе центрирования пластины, которая имеет пластину с держателем, в которой пластина центруется в держателе как при комнатной температуре, так и при более высоких температурах, независимо от теплового расширения пластины и держателя, и пластина может свободно расширяться в держателе при более высоких температурах. Изобретение относится в частности к мишени, имеющей рамочное крепление мишени, которое очень хорошо подходит для использования в источнике покрытия для покрытия мишени импульсным магнетронным распылением большой мощности. Технический результат - предотвращение разрушения мишени под воздействием гидростатического давления в охлаждающем трубопроводе. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 6 ил.
ЦЕНТРИРОВАНИЕ ПЛАСТИНЫ В ДЕРЖАТЕЛЕ ПРИ КОМНАТНЫХ ТЕМПЕРАТУРАХ И ПРИ БОЛЕЕ ВЫСОКИХ ТЕМПЕРАТУРАХ // 2665058
Изобретение относится к области нанесения покрытий путем осаждения из газовой фазы. Дискообразная пластина центруется в держателе как при комнатных температурах, так и при более высоких температурах, независимо от теплового расширения пластины и держателя, при этом пластина может свободно расширяться в держателе при более высоких температурах. Технический результат - повышение надежности работы пластины путем удержания ее по центру в держателе. 2 н. и 14 з.п. ф-лы, 8 ил.
