Патенты автора ХАГМАНН, Юрг (CH)
Изобретение относится к системе центрирования пластины, которая имеет пластину с держателем, в которой пластина центруется в держателе как при комнатной температуре, так и при более высоких температурах, независимо от теплового расширения пластины и держателя, и пластина может свободно расширяться в держателе при более высоких температурах. Изобретение относится в частности к мишени, имеющей рамочное крепление мишени, которое очень хорошо подходит для использования в источнике покрытия для покрытия мишени импульсным магнетронным распылением большой мощности. Технический результат - предотвращение разрушения мишени под воздействием гидростатического давления в охлаждающем трубопроводе. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 6 ил.
