Патенты автора РАНАДЕ, Альпана (US)

Изобретение относится к способу получения многослойного покрытия, выполненного из тонкой пленки градиентного состава, и изделию, полученному указанным способом. Осуществляют введение в плазму по меньшей мере одного химического вещества-предшественника, причем указанное введение включает введение в плазму первого химического вещества-предшественника и по меньшей мере одного другого химического вещества-предшественника, отличного от первого химического вещества-предшественника. Затем на поверхность подложки наносят слой первой пленки, при этом химический состав первой пленки определяется указанным по меньшей мере одним химическим веществом-предшественником. Изменяют по меньшей мере один параметр плазменного процесса, связанного с нанесением указанного по меньшей мере одного химического вещества-предшественника, в ходе нанесения слоя первой пленки. Изменяют химический состав по меньшей мере части указанного слоя первой пленки, независимо или в комбинации, в вертикальном направлении или в вертикальном и горизонтальном направлении относительно указанной подложки. Наносят на указанную первую пленку или рядом с ней слой второй пленки, полученной по меньшей мере частично из второго химического вещества-предшественника, причем вторая пленка имеет химический состав, отличный от состава первой пленки, при этом по меньшей мере часть второй пленки пространственно отделена от первой пленки в горизонтальном направлении относительно поверхности изделия. Обеспечивают поверхность раздела между указанными первой пленкой и второй пленкой. Поверхность раздела включает изменение элементного состава первой пленки относительно элементного состава второй пленки. Поверхность раздела проходит между вертикальным участком первой пленки и вертикальным участком второй пленки относительно поверхности изделия. Обеспечиваются улучшенные свойства многослойного покрытия, а именно прозрачность, устойчивость к эрозии, износостойкость или эластичность. 11 н. и 10 з.п. ф-лы, 8 ил., 3 табл.

 


Наверх