Патенты автора ЛЯРШЕ Жан Эрик (FR)
Группа изобретений относится к способу откачивания в системе вакуумных насосов и системе вакуумных насосов. Способ откачивания в системе вакуумных насосов содержит главный смазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос (3) с впускным патрубком (2) для газов, соединенным с вакуумной камерой (1), и выпускным патрубком (4) для газов, ведущим в трубу (5) перед поступлением газа на выпуск (8) для газов системы вакуумных насосов, обратный клапан (6), расположенный в трубе (5) между патрубком (4) и выпуском (8), и вспомогательный смазываемый пластинчато-роторный вакуумный насос (7), подсоединенный параллельно клапану (6). Активируют насос (3) для откачивания газов, содержащихся в камере (1), через патрубок (4), одновременно активируют насос (7) и обеспечивают непрерывную работу насоса (7) все то время, пока насос (3) откачивает газы, содержащиеся в камере (1), и/или все то время, пока насос (3) поддерживает определенное давление в камере (1). Группа изобретений направлена на обеспечение снижения электрической энергии, необходимой для создания вакуума в камере, на снижение температуры выпускаемого газа. 2 н. и 16 з.п. ф-лы, 2 ил.
