Патенты автора ГАЛАН Жильбер (BE)

Изобретение относится к концевому блоку для вращающейся распыляемой мишени, такой как вращающаяся мишень для магнетронного распыления. Установка для распыления включает в себя один или более таких концевых блоков, предусматривает расположение электрического контакта (контактов), например, щетки (щеток) между токосъемником и ротором в концевом блоке (блоках) в области под вакуумом. Техническим результатом является возможность эффективного охлаждения, в частности водяного охлаждения как ротора, так и токосъемника, а также повышение скорости распыления до 20 %. 3 н. и 22 з.п. ф-лы, 3 ил.

 


Наверх