FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора КЕННЕДИ Уильям С. (US)
КАМЕРА ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ И СПОСОБ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПОДЛОЖКИ В ТАКОЙ КАМЕРЕ
// 2237314
Изобретение относится к области электротехники, в частности к травильным камерам с плазмой высокой плотности