Патенты автора Некрасов Я.А. (RU)

Изобретение относится к приборостроению, к микромеханическим чувствительным элементам, например акселерометрам и датчикам угловых скоростей

Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления