Патенты автора Четверов Юрий Степанович (RU)
Изобретение относится к области детектирования электромагнитного излучения, в частности инфракрасного, на основе болометрических детекторов. Технический результат заключается в компенсации технологического разброса значений сопротивлений болометров матрицы в широком диапазоне температур без использования термостабилизирующих элементов, в устройствах для регистрации инфракрасного излучения. Для этого устройство содержит матрицу болометрических детекторов, состоящую из болометров, чувствительных к падающему инфракрасному излучению, называемых «активными», и нечувствительных к инфракрасному излучению болометров, называемых «термозакороченными», сформированных на полупроводниковой подложке, содержащей схему считывания, состоящую из множеств пар транзисторов различных типов проводимости, подключенных истоками к «активным» и «термозакороченным» болометрам соответственно, получающих некоторые напряжения смещения, с объединенными стоками, которые подключены к входам интеграторов, к которым с помощью набора ключей, управляемых цифровым кодом компенсации разрядности n, один из разрядов которого определяет знак тока компенсации, также подключены источники положительного и отрицательного тока компенсации, представляющих собой токовые зеркала с заданными коэффициентами умножения тока, которые мультиплицируют для каждого столбца и умножают с заданным коэффициентом ток, сформированный средством формирования опорного компенсационного тока на основе двух дополнительных «термозакороченных» болометров, расположенных вне поля матрицы, получающих смещения от транзисторов в точности идентичных транзисторам смещения «активных» и «термозакороченных» болометров и смещенных точно такими же напряжениями смещения. 3 ил.
Использование: для тепловой изоляции детекторов теплового излучения. Сущность изобретения заключается в том, что прибор для теплового детектирования инфракрасного излучения включает в себя пиксель на полупроводниковой подложке, пиксель включает в себя первую секцию и вторую секцию, первая секция находится на поверхности полупроводниковой положки и включает в себя электрические цепи, вторая секция отделена от первой секции и находится непосредственно над ней, вторая секция является планарной и включает в себя ножки, микро-мембрану и расположенный на ней температурный детектор, вторая секция поддерживается колоннами, одна из ножек имеет один конец интегрально соединенный с микро-мембраной и другой конец интегрально соединенный с одной из колонн, другая из ножек имеет один конец, интегрально соединенный с микро-мембраной, и другой конец, интегрально соединенный с другой из колонн, ножки обеспечивают электрическое соединение температурного детектора с электрическими цепями через соответствующие колонны и термоизоляцию температурного детектора и микро-мембраны от полупроводниковой подложки, одна из ножек включает в себя первую часть первого диэлектрического слоя, первую часть второго диэлектрического слоя, часть электропроводящего слоя, данная часть электропроводящего слоя обеспечивает вышеупомянутое электрическое соединение, первая часть первого диэлектрического слоя граничит с первой поверхностью электропроводящего слоя и первая часть второго диэлектрического слоя граничит со второй поверхностью электропроводящего слоя, первая и вторая поверхности электропроводящего слоя являются противолежащим поверхностями части электропроводящего слоя, часть электропроводящего слоя является источником механических напряжений, вызывающим напряжения растяжения в первой части первого диэлектрического слоя и напряжения растяжения в первой части второго диэлектрического слоя. Технический результат: обеспечение возможности снижения теплопроводности диэлектрических слоев. 2 н. и 18 з.п. ф-лы, 24 ил., 2 табл.
Изобретение относится к области производства электронных компонентов и может быть использовано, в частности, в микроэлектронике для совмещения ферромагнитных свободных масок при формировании прецизионного топологического рисунка тонких пленок органики, металлов и диэлектриков, напыляемых на пластины в вакууме
Изобретение относится к области печатной техники, а более конкретно к печатающим устройствам (принтерам) с термоструйной печатающей головкой
