Патенты автора Жуков Андрей Александрович (RU)

Изобретение относится к робототехнике, а именно к мобильным микророботам космического назначения, для осуществления инспекционных работ на солнечных батареях (СБ) космических аппаратов (КА). Космический робот-инспектор содержит несущую платформу, микроконтроллер, приемопередатчик интерфейса связи с соединителем и съемным кабелем, систему дистанционного управления, блок определения текущего местоположения робота, блок обнаружения препятствия, содержащий излучатель инфракрасного сигнала и приемник отраженного инфракрасного сигнала, датчик освещенности, блок подсветки, автономную систему обеспечения теплового режима, экранно-вакуумную теплоизоляцию космического робота-инспектора. Система дистанционного управления включает выносной блок, размещаемый на внешней поверхности Международной космической станции (МКС) и содержащий базовый блок беспроводного приема и передачи данных с выносной антенной, автономную систему обеспечения теплового режима выносного блока и экранно-вакуумную теплоизоляцию выносного блока, а также источник питания системы управления и блок управления и контроля, размещаемые в герметичном отсеке МКС. При этом все блоки связаны определенным образом. Повышается надежность конструкции при эксплуатации. 17 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к технике сверхвысоких частот (СВЧ) и служит для поглощения паразитных СВЧ излучений с элементов СВЧ узлов, в том числе при эксплуатации аппаратуры в космическом пространстве в широком диапазоне температур. Техническим результатом является упрощение и повышение технологичности аппаратуры при обеспечении электромагнитной совместимости элементов СВЧ узлов аппаратуры. Технический результат достигается тем, что предложена планарная СВЧ поглощающая структура, включающая в свой состав поглотитель в виде диэлектрической пластины с металлическим слоем, включает поглотитель, который представляет собой резистивный слой, расположенный на поверхности диэлектрической пластины, с удельным поверхностным сопротивлением [Ом], где W - волновое сопротивление окружающего пространства [Ом], при этом резистивный слой электрически соединен с металлическим слоем отверстиями, которые выполнены металлизированными и/или с поверхностью, покрытой резистивным слоем. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к микроэлектронным приборам космического назначения и может быть использовано в составе бортовой и наземной аппаратуры космических аппаратов с высокоплотным монтажом. Предложен микромодуль, включающий в свой состав корпус с крышкой, основание, N чередующихся коммутационных плат, содержащих сквозные металлизированные отверстия, коммутационные металлические слои в виде микрополосковых линий и диэлектрические слои, с установленными на них, электрически соединенными с каждой из них, бескорпусными кристаллами, с заливкой компаундом пространств между платами. В предложенном микромодуле со стороны, не занятой коммутационными слоями, последовательно расположены глухие отверстия для монтажа бескорпусных кристаллов и сквозные отверстия для коммутации платы с бескорпусными кристаллами после формирования коммутационных слоев, при этом глубина глухих отверстий выбирается из соотношения Н≤h+a, где Η - толщина бескорпусных кристаллов, мкм, h - глубина глухого отверстия, мкм, а - толщина адгезива после монтажа бескорпусного кристалла и отверждения, мкм. Технический результат заключается в создании технологичного микромодуля космического назначения с уменьшенными массогабаритными характеристиками, предназначенного для эксплуатации в составе бортовой аппаратуры в широком диапазоне температур с увеличенным сроком эксплуатации. 7 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к космической технике, а более конкретно к испытаниям в космосе. Стенд для натурных испытаний аппаратуры в космическом пространстве включает платформу для размещения испытуемых блоков и тестовую аппаратуру. Тестовая аппаратура состоит из электрически и информационно связанных внутреннего и внешнего блоков. Платформа для размещения испытуемых блоков и внешний блок тестовой аппаратуры выполнены в виде выносного крейта, располагаемого в открытом космическом пространстве вне герметичного отсека космического аппарата. В выносном крейте для каждого испытуемого блока выделен унифицированный разъем с информационными, управляющими цепями и цепями питания и разъем с цепями специализированных входов-выходов. Выносной крейт электрически и информационно связан с внутренним блоком тестовой аппаратуры, располагаемым внутри герметичного отсека космического аппарата, посредством проводного канала передачи данных и расположен на расстоянии от космического аппарата. Достигается повышение достоверности результатов испытаний. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к технологии микроэлектронных приборов, состоящих из нескольких полупроводниковых компонентов на твердом теле, и может быть использовано при производстве аппаратуры с высокоплотным монтажом. Cпособ изготовления микромодуля включает формирование на коммутационной плате коммутационных слоев, сквозных металлизированных отверстий, монтаж бескорпусного кристалла, создание электрических соединений между бескорпусным кристаллом и платой микросваркой, формирование пакета коммутационных плат путем создания электрических соединений между коммутационными платами с применением токопроводящих микрошариков, заливку компаундом пространства, образованного между коммутационными платами и корпусирование. Согласно изобретению бескорпусной кристалл монтируют в предварительно профилированную коммутационную плату после создания коммутационных слоев со стороны, не занятой коммутационными слоями путем последовательного формирования глухого отверстия для монтажа бескорпусного кристалла и сквозного отверстия внутри глухого «сухим» травлением последовательно в Бош-процессе для коммутации платы с бескорпусным кристаллом через предварительно сформированную спреевым методом фоторезистивную маску. Изобретение обеспечивает возможность изготовления микромодуля с уменьшенными массогабаритными характеристиками и повышенной степенью интеграции. 5 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к микроробототехнике, а именно к мобильным микророботам, и предназначено для осуществления инспекционных работ на солнечных батареях космических аппаратов и/или Международной космической станции, в экстремальных ситуациях, преимущественно для минимизации рисков человека в условиях открытого космоса. Ползающий космический микроробот-инспектор содержит несущую платформу с размещенной служебной и целевой нагрузкой и движители–микроактюаторы, жестко закрепленные хвостовиками симметрично в ряд на одной поверхности с противоположных сторон несущей платформы под углом α, составляющим от 90 до 180 градусов включительно, к направлению движения. Свободные хвостовики расположены вне габаритов несущей платформы. Движители-микроактюаторы имеют дугообразную форму с выпуклостью от поверхности перемещения и на незакрепленных хвостовиках оборудованы захватными устройствами. Изобретение обеспечивает расширение функциональных возможностей за счет точного позиционирования при инспекции поверхностей, повышенный жизненный цикл, повышенную технологичность. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано для получения терморегулирующих покрытий космического назначения с помощью микродугового оксидирования, в частности для формирования на изделиях из алюминия и алюминиевых сплавов дифференциальных терморегулирующих покрытий, прочно сцепленных с основой и стойких к тепловым ударам, обладающих повышенными эксплуатационными характеристиками и сроком активного существования, применяемых для блоков бортовой аппаратуры, элементов оптико-электронных приборов, аппаратуры дистанционного зондирования Земли. Способ включает последовательную обработку в двух электролитах микродуговым оксидированием в анодно-катодном режиме с частотой 50 Гц при равенстве анодного и катодного токов, при этом сначала на поверхность подложки наносят исходную маску, проводят формирование белых областей покрытия в первом электролите, затем удаляют исходную маску и на белые области наносят маску, инверсную исходной, после чего проводят формирование черных областей покрытия во втором электролите, а затем инверсную маску удаляют. Техническим результатом заявленного изобретения является повышение технологичности и качества покрытий за счет формирования на изделиях из алюминия и алюминиевых сплавов прочно сцепленных с основой и стойких к тепловым ударам дифференциальных терморегулирующих черно-белых покрытий космического назначения, обеспечивающих поддержание в корпусе температуры, необходимой для устойчивой работы элементов радиоэлектронной бортовой аппаратуры космических аппаратов с длительным сроком активного существования. 8 з.п. ф-лы, 1 пр., 11 ил.

Изобретение относится к устройствам удовлетворения жизненных потребностей человека, точнее к устройствам дезинфекции предметов с использованием физических явлений, и может быть использована для профилактической и очаговой дезинфекции поверхностей, содержащих патогенные биологические агенты, передающихся по воздушно-капельному и/или контактному механизмам передачи инфекции и угрозы заноса возбудителя, и предназначенных преимущественно для использования в качестве опорных ручек в общественном транспорте, ручек специальных транспортных средств «Скорой помощи», стационарных опорных устройств - перил, ручек носилок для транспортировки пациентов, ручек транспортных тележек, например, супермаркетов, аэропортов, ручек дверей и окон инфекционных отделений и больниц. Устройство с дезинфицируемой внешней поверхностью содержит полый корпус из материала, прозрачного для излучения размещенных внутри корпуса светодиодов, отражатель с цилиндрической поверхностью, источник питания и блок управления. Светодиоды использованы с рабочими длинами волн 315-390 нм, 400-480 нм и 900-3000 нм. Световая мощность светодиодов и плотность их расположения выбираются из условия обеспечения выхода облучения из поверхности корпуса не менее 100 Дж/см2. Изобретение направлено на повышение эффективности дезинфекции. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к области интегральных оптических модуляторов и может быть использовано в качестве лидара в системах обнаружения, идентификации объектов, определения расстояний до них. Сущность изобретения заключается в том, что в устройстве для оптического сканирования, включающем источник излучения 1, оптически сопряженный с модулем сканирования 2, модуль сканирования 2 выполнен в виде микросхемы, в которой установлен блок развертки 3, включающий, по меньшей мере, два оптических канала 4 с общим входом 5 и выходами 6, включающий также средства сдвига фазы 7, при этом источник излучения 1 оптически сопряжен с общим входом 5. Техническим результатом изобретения является повышение надежности устройства. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к электронной технике, а именно к области СВЧ микроэлектроники. Техническим результатом заявленного изобретения является повышение адгезионной прочности монтажных соединений в коммутационной плате и технологичности коммутационной СВЧ-платы. Технический результат достигается тем, что многослойная коммутационная плата СВЧ-гибридной интегральной микросхемы космического назначения содержит диэлектрическую подложку, на которой размещены N чередующихся металлических и диэлектрических слоев с топологическим рисунком, активные элементы, размещенные на подложке и/или на диэлектрическом слое с монтажными площадками, межслойная коммутация осуществляется посредством электрически изолированного проводящего элемента в диэлектрическом слое и/или в/на диэлектрической подложке, выполненного на основе золота в форме микроминиатюрного анкера с образованием расширений-манжет, частично размещенных вне отверстия. 4 н. и 8 з.п. ф-лы, 9 ил.

Использование: для изготовления СВЧ–гибридных интегральных микросхем космического назначения с многоуровневой коммутацией на основе органического диэлектрика. Сущность изобретения заключается в том, что способ изготовления СВЧ–гибридной интегральной микросхемы с многоуровневой коммутацией на основе органического диэлектрика включает изготовление многослойной платы с чередованием слоев с металлизированным рисунком и слоев органического диэлектрика с последующим монтажом кристаллов, перед которым проводят термическую обработку. Технический результат: обеспечение возможности получения стабильных характеристик и температурная независимость характеристик СВЧ–сигнала СВЧ–гибридной интегральной микросхемы с многоуровневой коммутацией на основе органического диэлектрика в диапазоне частот от десятков мегагерц до десятков гигагерц. 4 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к микроробототехнике, а именно к шагающим мобильным микророботам, и предназначено для осуществления работ в экстремальных ситуациях, преимущественно в условиях открытого космоса, невесомости, микрогравитации и выполнения задач напланетных миссий. Шагающий мобильный микроробот содержит корпус, систему управления движением и движитель в виде ног, приводимых в движение термомеханическими микроактюаторами. Каждая из ног выполнена в виде зигзага из четырех ортогонально соединенных балок. Первая балка закреплена перпендикулярно боковой поверхности корпуса. Вторая балка расположена параллельно боковой поверхности корпуса под углом не менее 30 угловых градусов к поверхности перемещения и ориентирована в направлении движения микроробота. Третья балка выполнена из двух частей, соединенных между собой шарниром. А к четвертой балке присоединена шарниром ступня, состоящая из пальцев, снабженных термомеханическими актюаторами. Все балки кроме первой снабжены термомехническими микроактюаторами. При этом микроробот имеет не менее чем шесть ног. Изобретение обеспечивает повышение возможности адаптации к поверхности, имеющей сложный профиль. 3 з.п. ф-лы, 5 ил.

Использование: для детектирования напряженности электрического поля на поверхности конструкции космического аппарата. Сущность изобретения заключается в том, что миниатюрный измеритель параметров электризации космических аппаратов включает: микросистемный вибрационный модулятор, состоящий из металлического каркаса, печатных плат, катушек индуктивности, подвижного экранирующего электрода, чувствительного электрода, и электрическую схему преобразования, состоящую из последовательно соединенных усилителя тока и аналого-цифрового преобразователя, при этом вход усилителя тока подключен к чувствительному электроду, материал подвижного экранирующего электрода выбирается из соотношения Е=E0k, где Е - модуль Юнга, Е0 - модуль Юнга в н.у., k – коэффициент, характеризующий изменение модуля Юнга используемого материала в диапазоне температур от -150°С до +150°С, значение коэффициента находится в пределах 1,0≤k≤1,1. Технический результат: обеспечение возможности уменьшения массогабаритных параметров, снижения мощности потребления устройства, повышения работоспособности системы в условиях открытого космоса, а также устойчивости к жестким температурным условиям эксплуатации. 5 з.п. ф-лы, 2 ил.

Заявленное изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к способам получения диэлектрического слоя межслойной изоляции определенной толщины в изделиях микроэлектроники на основе полимерного покрытия. Способ получения диэлектрического слоя на основе полимерного покрытия в изделиях микроэлектроники включает следующие этапы. Подготовку поверхности нанесения. Нанесение толстого покрытия. Термообработку для удаления растворителя и летучих продуктов реакции. Нанесение покрытия из раствора полимера проводят последовательно в два этапа. На первом этапе раствор полимера наносят центрифугированием. На втором этапе – постадийным ультразвуковым спреевым нанесением. Причем на первом этапе применяют раствор полимера большей концентрации и вязкости, чем на втором. Техническим результатом заявленного изобретения является формирование толстого полимерного слоя заданной толщины из раствора с одновременным улучшением качества поверхности формируемого толстого полимерного слоя и равномерности толстого полимерного слоя по площади поверхности. 5 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к области технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении 3D-устройств микросистемной техники, например микроинжекторов, микродвигателей, а именно при получении сквозных микроотверстий в кремниевой подложке. Способ изготовления сквозных микроотверстий в кремниевой подложке включает формирование на поверхности подложки алюминиевой маски под травление методом фотолитографии, формирование «стоп-слоя» на обратной стороне подложки на основе сплошного полиимидного покрытия из раствора полиамидокислоты на основе диангидрида и оксидианилина в полярном растворителе с последующей сушкой и имидизацией, проведение «сухого» травления через маску алюминия в Бош-процессе, удаление маски и «стоп-слоя», при этом перед формированием на обратной стороне подложки полиимидного покрытия проводят формирование сплошного оптически прозрачного металлического покрытия. Обеспечивается вертикальность стенок микроотверстий по всей их длине. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.
Изобретение относится к области гальванотехники и может быть использовано для формирования на изделиях прочно сцепленных с основой многофункциональных терморегулирующих оптических покрытий, обладающих повышенными теплозащитными функциями и применяемых для блоков бортовой аппаратуры и узлов космических аппаратов. Способ включает последовательную обработку в двух электролитах методом микродугового оксидирования в анодно-катодном режиме с частотой 50 Гц при равенстве анодного и катодного токов, при этом процесс ведут сначала в водном растворе электролита, содержащем щелочь 1-3 г/л, жидкое стекло 5-70 мл/л, а затем в водном растворе электролита, содержащем щелочь 1-7 г/л, жидкое стекло 5-70 мл/л, ванадат щелочного металла или аммония 3-20 г/л. Технический результат - формирование прочно сцепленных с основой покрытий, преимущественно двухслойных, где внутренний белый слой выполняет функцию повышения прочности сцепления с основой внешнего оптически черного слоя покрытия с высокими коэффициентом поглощения солнечного излучения и коэффициентом теплового излучения или теплозащитную функцию или является самостоятельным оптически белым покрытием с низким коэффициентом поглощения солнечного излучения и высоким коэффициентом теплового излучения. 6 з.п. ф-лы, 3 пр.

Использование: для создания СВЧ фильтров. Сущность изобретения заключается в том, что СВЧ фильтр на основе интегрированного в подложку волновода, образованный цепочкой связанных резонаторов, конструкция которого состоит из следующих составных частей: металлического основания, подложки на основе высокоомного монокристаллического кремния с двусторонней металлизацией плоскостей, в которой выполнены сквозные металлизированные отверстия, электрически объединяющие металлизацию и задающие зоны объемных резонаторов фильтра, интегрированного в подложку волновода, сформированного подложкой высокоомного кремния, двусторонней металлизации, входной и выходной линий передачи, характеризуется тем, что сквозные металлизированные отверстия по внешним сторонам фильтра образуют двумерную структуру, параметры которой выбираются из определенных условий. Технический результат: обеспечение возможности повышения точности изготовления. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к робототехнике, а именно к шагающим мобильным роботам, и предназначено для осуществления работ в экстремальных ситуациях, преимущественно в условиях открытого космоса и выполнения задач напланетных миссий. Ступня ноги шагающего космического микроробота выполнена с переменной жесткостью в виде гибкой пластины с размещенными на ней с промежутками между собой жесткими элементами. При этом суммарная площадь жестких элементов на единице площади поверхности пластины монотонно убывает от пятки к носку. Ступня соединена с ногой пяткой с помощью шарнира с одной степенью свободы. Изобретение обеспечивает упрощение конструкции, адаптацию ступни к поверхности перемещения и надежный контакт ступни с поверхностью. 5 з.п.ф-лы, 4 ил.

Способ создания двустороннего топологического рисунка металлизации позволит повысить технологичность и воспроизводимость при формировании двустороннего топологического рисунка в металлизации на подложках со сквозными металлизированными микроотверстиями. При формировании топологического рисунка литографией для нанесения и сушки резиста подложку первоначально окунают в резист с последующей сушкой последовательно при температуре, меньшей температуры сушки резиста, и температуре сушки резиста и удалением резиста. Затем наносят резист спреевым методом сначала на одну сторону подложки с последующей сушкой, а потом аналогичным образом на ее другую сторону. Размер капель резиста, наносимых спреевым методом, составляет dк<<dотв, где dк - диаметр капли резиста, dотв - диаметр сквозного микроотверстия. 3 ил., 2 табл.

Изобретение относится к робототехнике, а именно к шагающим мобильным роботам, и предназначено для осуществления работ в экстремальных ситуациях, преимущественно в условиях открытого космоса и выполнения задач напланетных миссий. Ступня ноги шагающего космического микроробота выполнена в виде пластины с закрепленным на поверхности ее контакта с поверхностью перемещения средством фиксации. При этом ступня соединена с ногой пяткой с помощью шарнира с одной степенью свободы. Пластина выполнена из гибкого диэлектрического материала с размещенными на ней с промежутками между собой жесткими элементами так, что их суммарная площадь на единице площади поверхности пластины монотонно убывает от пятки к носку. А средство фиксации выполнено в виде отдельных, не контактирующих между собой и покрытых слоем диэлектрика проводников, подключенных к разным полюсам источника напряжения. Изобретение обеспечивает повышение надежности фиксации на поверхности перемещения. 6 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к робототехнике, а именно к шагающим мобильным роботам, и предназначено для осуществления работ в экстремальных ситуациях, преимущественно в условиях открытого космоса, и выполнения задач напланетных миссий. Ступня выполнена в виде пластины с нанесенным на площадь ее контакта с поверхностью перемещения адгезивом, соединенной пяткой с ногой с помощью шарнира с одной степенью свободы. Пластина выполнена гибкой с размещенными на ней с промежутками между собой жесткими элементами, при этом их суммарная площадь на единице площади поверхности пластины монотонно убывает от пятки к носку. Технический результат - повышение надежности фиксации на поверхности перемещения. 9 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно изготовлению изделий микроэлектроники, содержащих в конструкции клеевое адгезионное соединение «полиимидная пленка-металл». В частности, предложена обработка полиимидной пленки в факеле неравновесной гетерогенной низкотемпературной СВЧ-плазмы при атмосферном давлении, использующей в качестве буферного газа смесь аргона и кислорода, и взаимном перемещении пленки и факела плазмы при частоте следования импульсов возбуждения не менее 50 Гц и скважности импульсов 2,6-2,85. Потребляемая мощность генератора СВЧ-плазмы составляет не более 500 Вт. Плазменный факел имеет цилиндрическую форму. Скорость обработки от 10 до 100 мм/сек. В результате чего без предварительной механической и химической обработки полиимидной пленки удается создать воспроизводимую поверхность для формирования клеевого соединения «полиимид-металл». 3 з.п. ф-лы, 8 ил., 1 табл.

Изобретение относится к области технологии дискретных полупроводниковых приборов и может быть использовано при изготовлении бескорпусных диодов для солнечных батарей космических аппаратов. Способ изготовления бескорпусного диода для солнечных батарей космических аппаратов согласно изобретению включает формирование структуры планарного диода, проведение термических операций, металлизации лицевой и тыльной сторон кремниевой монокристаллической подложки, разделение подложки на кристаллы, присоединение электропроводящих шин, формирование защитного покрытия на металлизированных поверхностях бескорпусного диода в сборе и на электропроводящих шинах, при этом защитное покрытие на металлизированных поверхностях бескорпусного диода в сборе и на электропроводящих шинах формируют на основе никель-золота последовательно в несколько этапов: удаление органических загрязнений жидкостными методами, нанесение химического никеля, промывка никелированного диода в сборе, нанесение иммерсионного золота, промывка позолоченного диода в сборе, сушка в вакууме. Изобретение позволит повысить качество бескорпусных диодов и обеспечит возможность изготавливать бескорпусные диоды, сформированные в едином технологическом цикле на одной подложке, с идентичными характеристиками. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение может использоваться в электронной, космической, авиационной, военной промышленности при создании электронной аппаратуры, предполагающей проведение диагностики, настройки, поиск неисправностей, входной и выходной контроль. Основное назначение изобретения - обеспечение возможности гарантированного размыкания механического тест-реле на время, достаточное для получения информации об электрических параметрах и/или характеристиках объекта измерения при отсутствии необходимости контроля соединения последнего с аксессуаром измерительного прибора. Нормально замкнутое механического тест-реле включает наружный конструктивный элемент, форма которого обеспечивает возможность требуемого разъемного соединения тест-реле с упомянутым аксессуаром при обеспечении фиксации их взаимного расположения на время соединения. 5 з.п. ф-лы, 8 ил.

Изобретение относится к области технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении 3D-устройств микросистемной техники и полупроводниковых приборов, содержащих в своей структуре металлизированные и/или неметаллизированные сквозные отверстия в кремнии различного функционального назначения. Способ изготовления сквозных металлизированных микроотверстий в кремниевой подложке включает формирование полиимидного покрытия из раствора полиамидокислоты на основе диангидрида и оксидианилина в полярном растворителе толщиной не менее 2 мкм с последующей сушкой при температуре 80–120оС и термоимидизацией при температуре не менее 350оС в течение не менее 30 минут, проведение «сухого» травления через маску алюминия толщиной не менее 1 мкм в два этапа последовательно реактивным ионным травлением и в «Бош»-процессе до образования положительного клина травления на границе раздела «кремниевая подложка - полиимидное покрытие» глубиной не менее 1 мкм, удаление маски и «стоп-слоя» проводят в едином цикле в щелочном травителе полиимида. Техническим результатом изобретения является повышение технологичности и воспроизводимости при изготовлении сквозных металлизированных микроотверстий в кремниевой подложке. 4 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретения могут использоваться в электронной, космической, авиационной, военной и других отраслях промышленности. Способ измерения электрических параметров или характеристик объекта исследования, установленного в электронном устройстве или блоке без демонтажа объекта исследования с печатной платы, на которой он установлен, заключается в том, что посредством подключающего устройства измерительного оборудования или прибора подключают объект исследования - электрически соединяют его с таким оборудованием или прибором, согласно изобретению используют как минимум один специальный электронный компонент – Тест-ключ, который выполнен с возможностью замыкания и размыкания электрической цепи, подключенной к паре его выводов, при этом Тест-ключ электрически соединяют последовательно с объектом исследования, для чего его располагают непосредственно перед или за объектом исследования в соответствии с электрической схемой упомянутых устройства или блока, причем один из выводов пары электрически соединяют с заданным полюсом объекта исследования, в то время как другой - с тем местом или участком электрической цепи измеряемых устройства или блока, с которым этот полюс должен быть электрически соединен, при этом исключают соединение самого такого полюса с указанным местом посредством стационарно установленного проводника, причем обеспечивают возможность электрического соединения с таким полюсом подключающего устройства упомянутых оборудования или прибора, для чего обеспечивают возможность физического доступа извне к электрически соединенному с ним проводнику до, во время или после подключения объекта исследования к упомянутым оборудованию или прибору, но перед измерением, посредством управляющего состоянием Тест-ключа воздействия обеспечивают размыкание ключа, соответствующего упомянутому полюсу объекта исследования, за счет чего отключают объект исследования от электрической цепи упомянутых устройства или блока, после чего диагностируют объект исследования, электрически развязанный с электрической цепью упомянутых устройства или блока или с ее частью, причем не менее чем на время измерений или, по крайней мере, не менее чем на время тестирования объекта исследования упомянутым оборудованием или прибором поддерживают Тест-ключ в разомкнутом состоянии, тогда как по окончании измерений или тестирования объекта исследования непосредственно или отсрочено обеспечивают замыканием Тест-ключа подключение объекта исследования к указанной цепи для обеспечения возможности штатного функционирования диагностируемого устройства или блока. Технический результат, достигаемый при использовании изобретений, заключается в снижении затрат времени на проведение диагностики и настройки электронных устройств или блоков, что обеспечивается за счет снижения затрат времени на измерение распаянных на печатных платах объектов исследования и исключения деструктивного влияния на них процесса измерения в виду исключения необходимости их полного и частичного демонтажа с плат. 5 н. и 20 з.п. ф-лы, 3 ил.

Использование: для изготовления микромеханических устройств, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы. Сущность изобретения заключается в том, что микромеханический актюатор выполнен в виде сформированной в меза-структуре упруго-шарнирной консольной балки, состоящей из параллельных трапециевидных вставок из монокристаллической кремниевой подложки p-типа с ориентацией [100], расположенных перпендикулярно основной оси консольной балки и соединённых полиимидными прослойками, образованными полиимидной пленкой, нагревателя и электропроводящих шин, образующих омический контакт с кремнием, трапециевидные вставки выполнены на противоположных сторонах упруго-шарнирной консольной балки и образуют, по меньшей мере, две зоны деформации. Технический результат: обеспечение возможности повышения надежности при эксплуатации в широком диапазоне температур. 2 н. и 9 з.п. ф-лы, 5 ил.

Использование: для создания систем, обеспечивающих микроперемещения. Сущность изобретения заключается в том, что кремниево-полиимидное гибкое сочленение для микросистем содержит соединяемые полиимидной вставкой кремниевые элементы, при этом в кремниевых элементах выполнены отверстия, заполненные материалом полиимидной вставки. Технический результат: обеспечение возможности повышения надежности сочленения. 4 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к микросистемной технике, в частности к микроробототехнике, и может быть использовано в исполнительных устройствах роботов при манипулировании микрообъектами сложных конфигураций и сыпучих материалов, например, в космической технике, для забора проб грунта планет, комет и других небесных тел. Микросистемный захват содержит двумерную деформируемую структуру и средства управления деформацией. Деформируемая структура выполнена в виде гибкой оболочки, снабженной матрицей деформируемых элементов в виде актюаторов, каждый из которых снабжен средством для индивидуального управления деформацией. Деформируемые элементы выполнены в виде биморфных актюаторов, а средства для индивидуального управления деформацией - в виде нагревательных элементов. Изобретение направлено на расширение функциональных возможностей за счет принятия микросистемным захватом разнообразных форм, позволяющих ему при использовании в качестве рабочего органа робота манипулировать микрообъектами сложных конфигураций и сыпучими материалами. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к электронной технике, в частности к процессам формирования топологических элементов микроэлектронных устройств с использованием электрохимического осаждения и взрывной литографии. Способ фотолитографии включает формирование первого слоя позитивного фоторезиста путем, по меньшей мере, двух циклов нанесения на подложку слоя фоторезиста с последующей его сушкой, экспонирование первого слоя без шаблона, формирование второго слоя позитивного фоторезиста путем, по меньшей мере, двух циклов нанесения на подложку слоя фоторезиста с последующей его сушкой, термообработку при температуре 120-150°С, экспонирование через шаблон и проявление рисунка, причем время экспозиции первого слоя меньше времени экспозиции второго слоя. Технический результат, получаемый при реализации заявляемого изобретения, выражается в реализации расширения арсенала технических средств формирования технологически качественной маски отрицательным углом наклона стенок профиля из позитивного фоторезиста с толщиной 7-15 мкм, что сопровождается уменьшением образования дефектов, достигаются оптимальные параметры края отрицательного профиля, что необходимо для качественного проведения обратной фотолитографии и увеличивает процент выхода годных структур после фотолитографии. 7 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к области микроробототехники, в которой основными подвижными элементами конструкции являются устройства микросистемной техники, выполненные по технологиям микрообработки кремния. Робот-инспектор может быть использован при создании систем, предназначенных для инспектирования и ремонта оборудования, находящегося в труднодоступных областях космических аппаратов за счет управляемого перемещения не менее чем в двух направлениях, возможности переноса полезной нагрузки и функционирования в условиях космического пространства. Изобретение обеспечивает возможность передвижения по поверхностям с различной степенью шероховатости и неровности, в том числе преодоление ступенчатых неровностей, устойчивость к жестким температурным условиям эксплуатации, увеличение надежности за счет применения термомеханических актюаторов, устойчивых к многократным изгибам, увеличение скорости передвижения за счет совместного использования разноразмерных исполнительных элементов. 2 н. и 24 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к многослойной экранно-вакуумной изоляции (ЭВИ) с микроструктурными элементами для космических аппаратов (КА). Каждый слой ЭВИ выполнен в виде подложки, на которой закреплены теплоотражающие элементы в виде массива прямоугольных микропластин. Каждая микропластина закреплена на подложке с зазором 10...20 мкм. На обращенной к КА стороне подложки выполнены канавки прямоугольного или трапецеидального сечения, а также продольные углубления полукруглого сечения. Второй и последующие слои ЭВИ прикреплены к предыдущим слоям через сферические спейсеры, установленные между пластинами. Диаметр спейсеров составляет не менее величины указанного зазора. В местах установки спейсеров нанесены слои диоксида кремния толщиной 0,5...1 мкм. На внешнюю поверхность микропластин и открытые поверхности подложки нанесено алюминиевое покрытие толщиной 0,1...0,3 мкм с коэфф. отражения 0,7-0,9. Микропластины м.б. выполнены биморфными. При изготовлении микропластин электропроводными на поверхности кремниевой подложки м.б. выполнены токопроводящие шины. Технический результат изобретения состоит в снижении массы и габаритных размеров ЭВИ и КА. 6 з.п. ф-лы, 7 ил.

Изобретение относится к электротехнике, в частности к устройствам для генерирования электрической энергии путем преобразования светового излучения в электрическую энергию, и может быть использовано при создании и производстве малоразмерных космических аппаратов с солнечными батареями (СБ). Техническим результатом изобретения является: повышение стойкости СБ к термоударам, к воздействию механических и термомеханических нагрузок, повышение технологичности конструкции, увеличение срока активного существования СБ космических аппаратов, повышение функциональных возможностей за счет расширения температурного диапазона функционирования и оптимизации конструкции СБ, упрощение коммутационной системы, что достигается путем повышения прочности соединения шунтирующих диодов и СЭ, повышение воспроизводимости процесса изготовления СБ космических аппаратов за счет оптимизации технологии изготовления шунтирующих диодов и СЭ СБ, а также коммутирующих шин, соединяющих СЭ и шунтирующие диоды, которые выполнены многослойными. Солнечная батарея для малоразмерных космических аппаратов содержит: панели с приклеенными на них модулями с солнечными элементами (СЭ), шунтирующий диод; коммутирующие шины, соединяющие лицевую и обратную стороны шунтирующего диода с СЭ, при этом шунтирующий диод установлен в вырезе в углу СЭ, при этом коммутирующие шины выполнены многослойными, состоящими из молибденовой фольги, с двух сторон которой последовательно нанесены слой ванадия или титана, слой никеля и слой серебра соответственно. 2 н. и 5 з.п. ф-лы, 4 ил., 3 табл.

Изобретение относится к микросистемной технике для создания электростатически управляемых микромеханических резонаторов для датчикопреобразующей аппаратуры и микрореле для коммутации СВЧ и НЧ аналоговых электрических цепей. Система содержит микромеханический исполнительный элемент, микроэлектронный преобразователь постоянного тока, вибрирующий элемент в виде миниатюрного пьезоэлектрического резонатора, автоколебательную резонансную схему, обратную связь, фазовращатель, емкость (конденсатор), интегральные логические КМОП-элементы, жесткую пластину и упругие подвесы. Технический результат заключается в создании микромеханической системы, отличающейся простотой конструкции и устойчивыми воспроизводимыми эксплуатационными характеристиками. 5 з.п. ф-лы, 3 ил., 1 табл.

Группа изобретений относится к области микроэлектроники - технологии изготовления слоистых изделий - и может быть использована при создании электродинамических и/или антенных устройств, содержащих в своей структуре слоистый материал со специфическими электрическими свойствами и обеспечивающих искажение рабочего электромагнитного поля. Технический результат - создание воспроизводимых и стабильных процессов изготовления метаматериалов, в том числе многоуровневых, с качественным и высокоточным исполнением металлических резонансных структур без разрывов и подтравов. Для этого в способе отсутствует операция травления «жертвенного» слоя (жидкостного или плазмохимического травления). Способ изготовления метаматериала заключается в формировании на n пластинах-носителях n защитных слоев, на которых формируют, последовательно чередуя между собой, m+1 уровней резонансных структур и m слоев диэлектрика соответственно, отделяют сформированные последовательно чередующиеся между собой уровни резонансных структур и слои диэлектрика с защитными слоями от соответствующих n пластин-носителей; соединяют последовательно методом монтажа с помощью меток совмещения, расположенных в каждом уровне резонансных структур, отделенные сформированные последовательно чередующиеся между собой уровни резонансных структур и слои диэлектрика с защитным слоем через радиочастотные диэлектрические пластины. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области технологии микроэлектроники и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов и/или устройств микросистемной техники на кремниевых подложках, содержащих в своей структуре пленки нитрида кремния различного функционального назначения. Техническим результатом изобретения является повышение качества осаждаемых пленок нитрида кремния методом плазмоактивированного процесса химического осаждения из газовой фазы на кремниевые подложки путем предварительной обработки поверхности подложек в плазме азота, в результате чего увеличивается равномерность осаждения пленки на подложке, снижается количество дефектов в пленке, улучшаются ее оптические и диэлектрические свойства. Способ осаждения пленки нитрида кремния на кремниевую подложку включает: предварительную обработку поверхности кремниевой подложки в плазме азота, подготовку компонентов газовой смеси из 5,2% смеси моносилана с аргоном с расходом 1,05÷1,15 л/ч и азота с расходом 0,07÷0,08 л/ч, из которой формируется пленка нитрида кремния, осаждение пленки нитрида кремния на обработанную поверхность кремниевой подложки непосредственно без разгерметизации реактора после предварительной обработки поверхности кремниевой подложки в плазме азота. 3 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к области микроэлектроники - устройствам микросистемной техники, выполненным по технологиям микрообработки кремния, и может быть использовано при создании систем терморегуляции нагреваемой поверхности космических аппаратов, либо иных систем, обеспечивающих микроперемещения в горизонтальной плоскости плоской функциональной несущей поверхности относительно неподвижного основания с расположенными на нем термомеханическими микроактюаторами, состоящими как минимум из двух слоев термодеформируемого материала. Заявленное микросистемное устройство терморегуляции поверхности космического аппарата включает: основание из диэлектрического материала с низким коэффициентом теплопроводности с отверстием прямоугольной формы; как минимум два ряда независимых параллельных канала управления из микроактюаторов, расположенные параллельно друг другу вдоль основания (как это показано на фиг.1а, б); отражающий экран, расположенный над микроактюаторами; металлизированные дорожки с электрическими контактами на основании и/или внутри него для электрического контакта с микроактюаторами; направляющие отражающего экрана, закрепленные на основании; полиимидные прижимы, расположенные между направляющими отражающего экрана и отражающим экраном; при этом соседние микроактюаторы в ряду повернуты друг к другу под углом 180 градусов, количество микроактюаторов в каждом ряду равно, количество рядов - четное количество, а количество микроактюаторов в каждом ряду не менее 6, микроактюаторы выполнены с возможностью углового перемещения подвижных элементов на угол не менее 30 градусов; отражающий экран расположен над микроактюаторами так, что ось симметрии отражающего экрана равноудалена от каждой пары рядов микроактюаторов (как это показано на фиг.1а, б); свободная поверхность основания покрыта с обеих сторон материалом с высоким коэффициентом отражения; усилие на подвижных элементах микроактюаторов такое, что суммарно для всех микроактюаторов оно оказывается достаточным для преодоления силы трения между отражающим экраном и микроактюаторами. Техническим результатом заявленного изобретения является: - уменьшение массогабаритных параметров за счет линейного перемещения подвижного элемента в одной плоскости; - работоспособность системы в условиях открытого космоса, а также устойчивость к жестким температурным условиям эксплуатации; - уменьшение потерь на трение между элементами конструкции; - увеличение эффективности работы системы за счет активного управления и за счет полного закрытия защищаемой поверхности отражающим экраном; - уменьшение напряжения питания до бортового; - увеличение надежности за счет применения микроприводов, устойчивых к многократным изгибам; - уменьшение энергопотребления за счет режима работы, подразумевающего активность системы, и, как следствие, энергопотребление, только в момент осуществления передвижения экрана, то есть в момент изменения температурного режима защищаемого объекта и/или окружающей среды; - возможность изготовления систем терморегуляции групповыми методами по стандартным технологиям микрообработки кремния и механообработки элементов конструкции. 14 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области радиотехники и может быть использовано в резонансных СВЧ компрессорах в качестве устройства вывода энергии для формирования мощных СВЧ импульсов наносекундной длительности. Технический результат - увеличение рабочей мощности переключателя при неизменной стабильности срабатывания и повышение стабильности срабатывания при неизменной рабочей мощности за счет увеличения количества каналов, через которые осуществляется вывод накопленной энергии из большего числа резонаторов. Переключатель содержит четыре волноводных Н-тройника, лежащих попарно в ортогональных плоскостях, с входными и выходными прямыми плечами и боковыми плечами полуволновой длины, объединеными через окна связи в полное сечение волновода в цилиндрической стенке проходного резонатора. В проходном резонаторе расположен СВЧ коммутатор с газоразрядной трубкой, установленной на полувысоте проходного резонатора по его диаметру под углом 45° к направлению боковых плеч, и с разрядником подсветки в центре одного из торцов газоразрядной трубки. Рабочая частота проходного резонатора выбрана равной частоте, на которой боковые плечи Н-тройников имеют полуволновую электрическую длину. Внешний диаметр d1 газоразрядной трубки составляет d1≈λ/6, а ее внутренний диаметр d2 составляет d2≈λ/10. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к микросистемной технике и может быть использовано при изготовлении микроэлектромеханических реле. Способ изготовления микроэлектромеханических реле включает последовательное формирование на подложке контактной металлизации, состоящей из управляющего электрода, двух нижних коммутируемых контактов, расположенных с двух сторон от управляющего электрода на определенном расстоянии, «жертвенного» слоя, верхнего подвижного контакта, расположенного над управляющим электродом и нижними коммутируемыми контактами, опор для подвеса подвижного верхнего контакта. «Жертвенный» слой формируют из не менее трех «жертвенных» подслоев в несколько стадий с использованием двух позитивных фоторезистов с различной величиной вязкости, формируют отверстия для нижних коммутируемых контактов и опор для подвеса подвижного верхнего контакта методом фотолитографии, на конечной стадии проводится термообработка «жертвенного» слоя. Техническим результатом заявленного изобретения является получение высокого уровня планарности «жертвенного» слоя, что повышает воспроизводимость технологического процесса изготовления микроэлектромеханических реле. 4 з.п. ф-лы, 9 ил.

Изобретение относится к способу изготовления поглощающего покрытия, обеспечивающего поглощение в инфракрасном диапазоне длин волн для создания эталонов абсолютно черного тела в имитаторах излучения для аппаратуры дистанционного зондирования земли со стабильными характеристиками. Способ изготовления поглощающего покрытия включает формирование на пластине-носителе последовательно адгезионного слоя; полиимидного слоя с углеродными нанотрубками из раствора пиромилитового диангидрида и оксидианилина в полярном растворителе методом центрифугирования или полива с последующей сушкой. На высушенном полиимидном слое с углеродными нанотрубками формируют методом центрифугирования или полива слой из дисперсии углеродных нанотрубок в полярном растворителе: диметилформамиде или диметилацетамиде. Далее проводят сушку и термоимидизацию полиимидного слоя с углеродными нанотрубками и с углеродными нанотрубками из дисперсии, внедренными частично в растворенный приповерхностный слой полиимида. На слое из углеродных нанотрубок, внедренных и выступающих из полиимидного слоя, прошедшего термоимидизацию, формируют упрочняющий и поглощающий слой из нитрида кремния методом плазмохимического осаждения. Технический результат - создание воспроизводимого и стабильного во времени процесса изготовления покрытия с высокой поглощающей способностью инфракрасного излучения, работающего в широком диапазоне температур. 2 ил., 1 пр.

Изобретение относится к области оптики и может быть использовано в устройствах и системах для отклонения пучка квазимонохроматического оптического излучения по двум пространственным направлениям, создания плоских изображений с помощью пучка квазимонохроматического оптического излучения, изменения и переключения изображений. Микросистема оптического излучения включает источник квазимонохроматического оптического излучения, систему оптических элементов, первую линейку электроуправляемых микроструктур, вторую линейку электроуправляемых микроструктур, фотоприемник и блок управления. Техническим результатом является повышение функциональной возможности конструкции за счет создания микросистемы оптического излучения, обеспечивающей возможность отклонения пучка квазимонохроматического оптического излучения по двум пространственным направлениям. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.

Изобретение относится к антенным устройствам и может быть использовано как отдельная антенна, а также в качестве элемента сложной антенны или антенной системы радиочастотного, терагерцового, инфракрасного или оптического диапазонов

Изобретение относится к радиотехнике, а именно к активным антенным модулям

Изобретение относится к области изготовления дискретных полупроводниковых приборов

Изобретение относится к области антенной техники и может быть использовано при создании и изготовлении малогабаритных антенн, обеспечивающих сужение диаграммы направленности

Изобретение относится к микроэлектронике, а также к нано- и микросистемной технике и может быть использовано в интегральных микросхемах с защитой от электрических и/или тепловых перегрузок

Изобретение относится к области космонавтики и касается устройств для изменения теплопередачи, а именно микроструктурных систем, содержащих упругие гибкие деформируемые исполнительные элементы

Изобретение относится к области дискретных полупроводниковых приборов, в частности к блокирующим диодам для солнечных батарей космических аппаратов

Изобретение относится к области микросистемной техники и может быть использовано при создании микросистемных устройств управления и/или сканирования малогабаритной антенной или оптической отражающей поверхностью (зеркала) на основе подвижных термомеханических микроактюаторов, обеспечивающих преобразование «электрический сигнал - перемещение» и/или «изменение температуры - перемещение»

 


Наверх