Патенты автора Ломаев Михаил Иванович (RU)

Изобретение относится к газоразрядным источникам излучения, а именно к йодным лампам с отпаянным излучателем в виде трубки, предназначенным для получения излучения на длине волны 206.2 нм при возбуждении емкостным разрядом, и может быть использовано в устройствах, где необходимо узкополосное ультрафиолетовое (УФ) излучение с длиной волны в области 200-210 нм. Технический результат - увеличение плотности мощности излучения на выходе из окна йодной лампы, возбуждаемой емкостным разрядом и обеспечение озонобезопасности. Йодная лампа, возбуждаемая емкостным разрядом, содержит импульсный источник питания, отражатель, вентилятор, установленный на боковом торце корпуса для охлаждения лампы, и излучатель, расположенный в металлическом корпусе с окном для выхода излучения, которое закрыто металлической сеткой. Излучатель, содержащий пары йода, состоит из трубки кварцевого стекла с запаянными торцами, у обоих концов которой на внешней поверхности установлены цилиндрические электроды, один из них высоковольтный, а второй заземлен. Трубка излучателя изогнута от высоковольтного электрода, а обе прямые части колбы изготовлены под углом друг к другу в интервале 15-90 градусов. Прямая часть трубки размещена вплотную к сетке на выходном окне, а заземленный электрод вплотную к корпусу; высоковольтный электрод размещен на удалении от корпуса лампы и отражателя; вентилятор установлен на торце корпуса со стороны высоковольтного электрода и всасывает облученный воздух через окно для выхода излучения и отверстия, находящиеся на торце корпуса, противоположном от высоковольтного электрода, и направляет воздух из корпуса лампы в вытяжной шкаф или фильтр. 1 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к способу газоразрядного выполнения пленок. С помощью высоковольтных импульсов напряжения с длительностью импульсов на полувысоте не более 10 наносекунд и длительностью фронта не более 4 наносекунд формируют разряд, инициируемый пучком электронов в газовых средах при давлениях от 100 Торр до атмосферного. В промежутке между высоковольтным распыляемым электродом с головкой, которая имеет радиус кривизны, равный 0,2 мм, и электропроводящей поверхностью для напыления, на которую одновременно воздействуют электронный пучок, ударная волна, ультрафиолетовое и вакуумное ультрафиолетовое излучение плазмы, сопровождающие разряд. Изобретение позволяет упростить процедуру напыления пленки. 2 ил., 1 пр.

Изобретение относится к области генерирования пучков заряженных частиц и может быть использовано при исследовании взаимодействия потоков заряженных частиц с веществом, в квантовой электронике, катодолюминесцентном анализе, плазмохимии и других областях

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении эффективных газоразрядных источников спонтанного излучения, в частности, при разработке источников излучения в вакуумной и вакуумной ультрафиолетовой областях спектра и их применении в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении однобарьерных вакуумных ламп в области ультрафиолетового диапазона спектра, в частности в микроэлектронике при обработке и чистке поверхности посредством ее облучения

Изобретение относится к светотехнике и может быть использовано при создании и применении эффективных источников излучения в ультрафиолетовой (УФ) и вакуумной ультрафиолетовой (ВУФ) областях спектра

Изобретение относится к газоразрядным источникам излучения, в частности к лампам барьерного разряда, излучающим на переходах эксимерных и эксиплексных молекул, и может быть использовано в различных областях науки и техники, например в фотохимии и в медицине

 


Наверх