Патенты автора Курнаев Валерий Александрович (RU)
Изобретение относится к способу определения толщины и контроля скорости эрозии и осаждения тонких слоев на обращенных к плазме элементах плазменных установок. В изобретении предусмотрено изготовление и помещение в плазменную установку мишеней из легкого и/или тяжелого элемента (например, вольфрам на боре или углерод на вольфраме) с заданной толщиной поверхностного слоя в те места установки, в которых предполагается исследовать скорость эрозии и/или осаждения, с последующим анализом энергетических спектров отраженных на угол 30-90° от экспонированных мишеней ионов водорода с начальной энергией в диапазоне 1-20 кэВ. Толщина тяжелого поверхностного слоя определяется по полуширине высокоэнергетичного пика на энергетическом спектре, а толщина легкого поверхностного слоя - по положению пика на энергетическом спектре. Скорость эрозии/осаждения при этом, как и при использовании СРОР, определяется как отношение изменения толщины поверхностного слоя мишени к количеству импульсов или времени существования плазменного разряда в плазменной установке. Техническим результатом является увеличение чувствительности, уменьшение времени анализа при определении скорости эрозии и осаждения тонких поверхностных слоев на обращенных к плазме элементах плазменных установок. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 3 ил.
Использование: для определения элементного состава и толщины поверхностной пленки твердого тела. Сущность: заключается в том, что выполняют измерение энергетических спектров ионов, отраженных и выбитых из поверхности твердого тела, при этом измеряют энергетические спектры непосредственно в процессе внешнего воздействия на поверхность твердого тела или сразу после него путем поочередного облучения во времени поверхности твердого тела масс-сепарированными по отношению масс к заряду ионами водорода и ионами инертных газов путем подачи соответствующего ускоряющего напряжения на ионный источник, работающий на смеси инертных газов и водорода, при этом об элементном составе поверхностного слоя твердого тела судят по энергетическим спектрам отраженных ионов инертных газов, а о толщине пленки - по энергетическим спектрам отраженных ионов водорода. Технический результат: расширение функциональных возможностей определения элементного состава поверхностной пленки твердого тела. 2 з.п. ф-лы, 4 ил.
УСТРОЙСТВО ДЛЯ АНАЛИЗА ГАЗОВОЙ СМЕСИ // 2272334
Изобретение относится к области плазменных исследований и масс-спектрометрии, связанной с анализом состава газовой смеси и продуктов взаимодействия плазмы с элементами конструкций плазменных установок (например, лимитеры, диверторные пластины)
