Патенты автора Некрасов Яков Анатольевич (RU)

Настоящее изобретение относится к области микромеханики и измерительной технике, в частности к микромеханическим резонаторам. Способ определения коэффициентов модели Кельвина-Фойгта для клеевого соединения микромеханического резонатора с основанием, заключающийся в измерении резонансной частоты и добротности микромеханического резонатора. При этом резонансную частоту и добротность микромеханического резонатора измеряют по крайней мере два раза, причем первый раз их измеряют после изготовления микромеханического резонатора в составе пластины кремния, а второй - после соединения микромеханического резонатора с основанием, при этом коэффициенты определяют по построенным зависимостям максимального значения модуля передаточной функции микромеханического резонатора, рассчитанного для разных значений коэффициентов модели Кельвина-Фойгта, и частоты, соответствующей этим максимальным значениям. Технический результат - повышение точности определения коэффициентов модели Кельвина-Фойгта. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа, в частности к устройству для измерения зазора между неподвижными электродами и подвижной массой (ПМ). Устройство для измерения зазора между неподвижными электродами канала вторичных колебаний и ПМ в микромеханическом гироскопе RR-типа включает в себя ПМ, дифференциальный емкостный датчик, образованный двумя расположенными по оси вторичных колебаний неподвижными электродами и ПМ, два преобразователя емкость-напряжение (код), входы которых соединены с соответствующими электродами емкостного датчика, и дополнительно введенное вычислительное устройство, реализующее функцию вида , входы которого соединены с выходами первого и второго преобразователей емкость-напряжение (код), где V1, V2 - сигналы на выходе соответственно первого и второго преобразователей емкость-напряжение (код). Технический результат – повышение точности работы ММГ при работе в жестких условиях. 2 ил.

Изобретение относится к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. Сущность изобретения заключается в том, что в ММГ с квадратурными электродами и источниками напряжения, соединенными с ними, введены последовательно сумматор и делитель, обеспечивающие компенсацию изменений зазора, и источники напряжения выполнены управляемыми, при этом вход их управления соединен с выходом делителя. Технический результат - повышение точности ММГ. 1 ил.

Изобретение относится к микромеханическим датчикам скорости вращения, в которых используется эффект Кориолиса, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа. Способ настройки фазы опорного сигнала демодулятора выходного тракта микромеханического гироскопа заключается в измерении выходного сигнала при изменении фазы опорного сигнала и последующем анализе получаемой зависимости, при этом последовательно задают первое и второе значения угловой скорости по оси чувствительности микромеханического гироскопа, находят зависимости выходного сигнала от фазы для двух значений задаваемых угловых скоростей, определяют первое (φ1) и второе (φ2) значения фазы, соответствующие точкам пересечения найденных зависимостей выходного сигнала от фазы, и выбирают фазу опорного сигнала, равную величине 0,5(φ1+φ2). Технический результат изобретения - повышение точности ММГ. 5 ил.

Изобретение относится к измерительной технике. Способ измерения добротности резонансного контура заключается в возбуждении колебаний за счет положительной обратной связи в контуре, стабилизации этих колебаний за счет введения отрицательной обратной связи по их амплитуде с помощью схемы автоматического регулирования усиления с источником опорного сигнала. Добротность Q определяют по формуле Q=KUA/Uoc, где UA - величина задаваемого напряжения опорного сигнала, а К - постоянная величина. Устройство содержит цепь положительной обратной связи, выполненную в виде последовательно включенных усилителя и устройства сдвига фазы, цепь отрицательной обратной связи, содержащую источник опорного сигнала и последовательно включенные детектор, дифференциальный усилитель и умножитель. Источник опорного сигнала соединен со входом дифференциального усилителя, второй вход умножителя соединен с выходом устройства сдвига фазы, вход детектора соединен с выходом устройства сдвига фазы. Устройство также содержит вычислительный блок, реализующий функцию K/Vвх, где Vвх - величина входного сигнала вычислительного блока. При этом вход вычислительного блока соединен с выходом дифференциального усилителя. Технический результат - повышение точности измерений. 2 н.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа, в которых для повышения точности используется термокомпенсация. Устройство содержит чувствительный элемент (ЧЭ) с резонансным подвесом инерционной массы, электроды, расположенные по двум ортогональным осям вокруг инерционной массы, электронный блок, включающий в себя последовательно соединенные первый преобразователь емкость-напряжение, блок автоматического регулирования усиления (АРУ), усилитель, и последовательно включенные второй преобразователь емкость-напряжение, демодулятор, имеющий первый и второй входы и выход, блок температурной коррекции, первый вход блока температурной коррекции соединен с выходом демодулятора, второй вход блока температурной коррекции соединен с выходом блока АРУ. Достигаемый технический эффект - повышение точности ММГ за счет того, что для компенсации влияния изменений температуры на ММГ измеряется по существу температура именно ЧЭ. Это измерение производится косвенным методом путем определения добротности Q, которая имеет монотонную зависимость от температуры. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ)

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа, в котором положение подвижной массы (ПМ) по оси первичных колебаний (t) изменяется в соответствии с выражением (t)=sin( 1t)

Изобретение относится к области точного приборостроения и может быть использовано в системах управления подвижной массой в микромеханических датчиках различного назначения

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа

Изобретение относится к гироскопам вибрационного типа, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) с подвижной массой (ПМ)

Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа

Изобретение относится к микромеханическим датчикам скорости вращения, в которых используется эффект Кориолиса, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности, к микромеханическим гироскопам (ММГ)

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа и схемам измерения передвижения подвижной массы (ПМ) или ротора в этих гироскопах

Изобретение относится к емкостным датчикам положения и перемещения, в частности к датчикам, используемым в микромеханических гироскопам вибрационного типа

Изобретение относится к гироскопам вибрационного типа, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) с подвижной массой (ПМ)

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа, включающим в себя подвижный механический элемент, гребенчатый двигатель и емкостные датчики перемещения подвижного механического элемента по оси первичных колебаний и выходной оси

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа

Изобретение относится к области приборостроения, в частности к устройствам управления гребенчатым двигателем

Изобретение относится к измерительной технике и может найти применение в микромеханических гироскопах

Изобретение относится к области микромеханики, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ) вибрационного типа и схемам измерения перемещения подвижной массы (ПМ) или ротора в этих гироскопах

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к микромеханическим гироскопам (ММГ)

Изобретение относится к приборам, измеряющим угловую скорость, в частности к микромеханическим гироскопам вибрационного типа
Мы будем признательны, если вы окажете нашему проекту финансовую поддержку!

 


Наверх