Патенты автора Прокофьев Александр Васильевич (RU)
Изобретение относится к области плазменной техники. Технический результат - расширение функциональных возможностей источника высокотемпературной плазмы и ЭУФ излучения за счет реализации возможности его эксплуатации в долговременном режиме при высоких яркости, мощности и эффективности. Высоковольтный и заземленный узлы выполнены со съемными осесимметричными высоковольтным и заземленным электродами, которые вне разрядной зоны отделены друг от друга щелевым зазором, соединенным с откачиваемой камерой через каналы, выполненные в заземленном узле. Съемные электроды снабжены каналом для протока охлаждающей жидкости и портами ввода и вывода охлаждающей жидкости. Источник питания содержит импульсно заряжаемые конденсаторы, подсоединенные к высоковольтному и заземленному электроду через одновитковый насыщаемый дроссель, кольцевой сердечник которого размещен снаружи съемных высоковольтного и заземленного электродов. Усовершенствование способа состоит в том, что разряд пинчевого типа зажигают между съемными высоковольтным и заземленным электродами, производят их охлаждение и вакуумную откачку газа из щелевого зазора между ними, и через 5·107 или более импульсов производят замену съемных электродов. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 1 ил.
МОЩНЫЙ ИСТОЧНИК ЭУФ ИЗЛУЧЕНИЯ // 2383074
Изобретение относится к устройствам для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения из плазмы импульсно- периодического вакуумного разряда, инициируемого лазером между вращающимися электродами
ИСТОЧНИК ЭУФ-ИЗЛУЧЕНИЯ // 2373591
Изобретение относится к устройствам для получения экстремального ультрафиолетового (ЭУФ) излучения высокой средней мощности из плазмы импульсно-периодического вакуумного разряда, инициируемого лазером между вращающимися электродами
ЭУФ ИСТОЧНИК С ВРАЩАЮЩИМИСЯ ЭЛЕКТРОДАМИ И СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ЭУФ ИЗЛУЧЕНИЯ ИЗ ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЫ // 2278483
Изобретение относится к устройству и способу для получения преимущественно экстремального УФ излучения, а также рентгеновского и мягкого рентгеновского излучения из плотной горячей плазмы разрядов пинчевого типа с вращающимися электродами
