Патенты автора Манжа Николай Михайлович (RU)
Изобретение относится к микроэлектронике
Изобретение относится к полупроводниковым приборам, в частности, к формированию самосовмещенных высоковольтных диодов
Изобретение относится к технологии изготовления кремниевых приборов и интегральных схем, в частности, к способам изготовления приборов с использованием эпитаксиального наращивания кремния в атмосфере водорода
Изобретение относится к технологии изготовления биполярных планарных транзисторов с полным диффузионным эмиттером
Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности, а именно, к производству больших интегральных схем с боковой диэлектрической изоляцией
Изобретение относится к оборудованию для получения слоев из газовой фазы при пониженном давлении (ХОГФПД) и может быть использовано при формировании и диэлектрических, полупроводниковых и проводящих слоев в производстве
Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к осаждению разных диэлектрических слоев производных кремния в производстве субмикронных СБИС (сверхбольших интегральных схем)
Изобретение относится к технологии формирования наноэлектронных структур
Изобретение относится к микроэлектронике
Изобретение относится к микроэлектронике
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологии изготовления биполярных транзисторов
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к технологии осаждения полупроводниковых, диэлектрических и металлических слоев при пониженном давлении
Изобретение относится к области микроэлектроники, а именно к технологии изготовления КМОП-транзисторов
Изобретение относится к области микроэлектроники
Изобретение относится к микроэлектронике, а именно к области создания интегральных схем (ИС) с использованием биполярных транзисторов